판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816667

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 에너지 효율, 정밀 온도 제어 및 기타 고급 기능을 제공하는 확산 로입니다. TEL ALPHA-8S는 재생 가능한 결과를 보장하기 위해 높은 균일성을 달성하는 단일 챔버 수평 튜브 유형 퍼니스입니다. 비용 및 에너지 소비량 측면에서 매우 효율적이며, 2 인치, 4 인치 또는 6 인치 웨이퍼를 최대 8 개까지 수용 할 수있는 교환 가능한 웨이퍼 홀더와 쿼츠 라이너로 유연성을 제공합니다. 용광로는 균일 한 온도에 보정 할 수있는 세라믹 히터 (ceramic heater) 를 사용하여 고체 인 단일 열 구역 (single heat zone) 으로 설계되었습니다. 또한 온도 조절 장비 (Temperature Control equipment) 는 여러 재료의 더 정확한 확산을 위해 극도로 낮은 열 구배로 정확한 온도 조절을 제공합니다. 안전보장 (safetys sake) 의 경우, 다양한 내부 압력 및 온도 수준을 모니터링하는 여러 센서와 경보 (alarm) 와 비상 사태의 경우 차단 (shoff) 이 특징입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 확산, 증기 증착, 산화 및 기타 화학 공정의 엔지니어를 지원하는 고급 소프트웨어 제어 패키지도 제공됩니다. 컨트롤러는 시간 제어, 파라 메트릭 프로그래밍, 최대 온도 제어 (maximum temperature control) 등의 기능을 갖춘 빠른 프로그래밍을 허용합니다. 용광로 에는 "세이프티 실드 '가 들어 있는데, 이 용광로 는 용지 의 안전성 과 안정성 있는 가열 을 보장 하기 위하여 높이 를 조절 할 수 있다. 유지보수 친화적인 설계를 통해 부품 교체를 통해 가동 중지 시간을 줄일 수 있고, 스마트 코팅 (smart coating) 은 클리닝 시간을 줄이고 시스템 수명을 늘릴 수 있습니다. 마지막으로, Delta 8S에는 생산성을 향상시키기 위해 다양한 액세서리가 함께 제공됩니다. 여기에는 쿨 다운 시간을 줄이기 위한 쿨다운 송풍기, 로딩 시간을 줄이기 위한 웨이퍼 로더, 정확한 용광로 피드백을 위해 고급 광학 피로메트리를 갖춘 자동 열 이미지 장치 (Auto Thermal Imager unit) 가 포함됩니다. 또한 진공 펌프 머신 (vacuum pump machine) 을 사용하여 빠른 대피 및 빠른 열 주기를 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 탁월한 에너지 효율성, 정밀 온도 조절, 다양한 기능을 제공하여 일관되게 안정적이고 정확한 결과를 찾는 엔지니어에게 탁월한 선택권을 부여합니다. 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 성능 향상을 위한 다양한 유용한 액세서리가 함께 제공됩니다 (영문).