판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816024

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 지속 가능한 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 장비입니다. TEL ALPHA-8S는 뛰어난 히터 균일성, 정밀한 온도 균일성 및 비용 효율적인 300mm Substrate 기능으로 빠르고 신뢰할 수있는 확산을 위해 탁월한 프로세스를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 3 대 1 가스 매니 폴드와 통합 가스 탐지기를 갖춘 고효율적이고 강력한 가스 전달 시스템을 사용합니다. 이를 통해 개별 "가스 '를 정확하게 제어하여 정확한 균일성을 달성하고 최적의 확산 프로파일을 얻을 수 있습니다. TEL ALPHA-8 S (TEL ALPHA-8 S) 는 균일 한 온도 조절을위한 분리 된 영역을 제공하며 프로세스 전체에서 비교적 빠르게 온도를 측정 할 수 있습니다. 안전하고 효율적인 작동을 위해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 챔버 과압 상황, 비상 차단 밸브 및 자동 온오프 흐름 제어를 방어하는 과압 보호 기능이있는 최신 안전 기술을 갖추고 있습니다. 균일 한 온도 조절을 위해 TOKYO ELECTRON Alpha 8S에는 8 개의 독립적으로 제어되고 열로 결합 된 하중 잠금이 장착되어 있습니다. 여러 로드 잠금 (load lock) 에 걸쳐 정확한 온도 제어를 통해 생산성 및 웨이퍼 냉각 시간 (wafer cooling time) 을 향상시켜 최적의 wafer 온도 수준을 제어할 수 있습니다. ALPHA-8 S에는 고급 레시피 및 프로세스 제어 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 직관적인 제어 장치를 사용하면 마우스 몇 번의 클릭으로 레시피 (레시피) 및 프로세스 단계를 생성, 검토, 모니터링, 조정할 수 있습니다. 일괄 처리 (batch-oriented) 소프트웨어는 사용자가 필요에 따라 즉시 제품이나 레시피를 조정할 수 있도록 함으로써 프로세스에 더 큰 유연성을 더합니다. 이러한 기능 외에도 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 광범위한 특수 액세서리를 제공합니다. 여기에는 잔물결 억제제, 촉매 펌프, 챔버, 공정 가스, 가스 분석기 및 히터 및 최대 150mm 웨이퍼에 대한 다양한 홀더가 포함됩니다. 이 모든 액세서리 (accessory) 는 사용자에게 신뢰할 수 있는 완벽하고 효과적인 패키지를 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로, ALPHA 8 S는 안정적이고 안정적인 반도체 응용을 위해 설계된 우수한 프로세스와 기술을 갖춘 최첨단 확산 퍼니스 머신입니다. 고효율적이고 고급 제어 도구를 사용하는 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 우수한 히터 균일성 및 기판 호환성을 통해 정확한 온도 조절과 더 빠른 확산을 제공합니다.