판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816022

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 장치 제조에 사용되는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 현대 반도체 제조업체의 엄격한 요구사항을 처리량 (high throughput) 과 정확도 (accuracy) 면에서 충족하도록 설계되었습니다. 확산 로에는 열 사이클 (thermal cycle) 의 균일성과 반복성을 보장하는 효율적인 열 사이클 (thermal cycle) 장비가 장착되어 있습니다. 또한, 용광로에는 고급 난방, 냉각 및 작동 제어가 장착되어 있어 탁월한 프로세스 제어가 가능합니다. 이 용광로 는 견고 한 "스테인레스 '" 프레임' 과 "실린더 '를 사용 하여 고온 을 견디고 균질 한 결과 를 낼 수 있도록 만들어졌다. 확산 로에는 최대 섭씨 1200 도의 온도 범위와 열 주기 매개변수를 제어하기위한 4 차원 제어 시스템이 있습니다. 또한 직경 25cm, 처리량 증가를 위해 최대 높이 300cm 인 용광로 챔버 (furnace chamber) 크기가 있습니다. 확산 로에는 프로세스를 향상시키기 위해 여러 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 향상된 프로세스 제어를 위해 프로파일 편차를 정확하게 수정 할 수있는 DNS (Digital Normalization Unit) 가 장착되어 있습니다. 또한, 반도체 장치의 저항성을 정상화하는 데 도움이되는 RNS (Resistive Normalization Machine) 가 장착되어 있습니다. 또한 전원 공급 장치의 제어성과 정확성을 향상시키는 SPT (Set Point Tracking) 도구도 갖추고 있습니다. TEL ALPHA-8S에는 웨이퍼 온도와 용광로 내 결정 위치를 모니터링하기 위해 DCM (Dual Crystal Monitor) 이 장착되어 있습니다. 용광로에는 웨이퍼 온도, 압력 및 위치와 같은 매개 변수를 모니터링하기위한 DOI (Data Out Interface) 도 장착되어 있습니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 로와 액세서리는 신뢰성이 높고 효율적인 자산으로, 반도체 장치의 제작에 적합하며, 정확성과 정확성으로 복잡한 열 사이클 매개변수를 처리 할 수 있습니다. 고급 제어 시스템 (Enhanced Control System) 은 탁월한 프로세스 제어 및 반복 능력을 제공하며, 정확성과 함께 매우 정확한 열 주기를 전문적으로 처리합니다. 이것은 뛰어난 성능을 찾는 반도체 장치에 이상적인 선택입니다.