판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816021

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 조립 프로세스에 사용되는 고급 로봇 확산 용광로 및 액세서리 시스템입니다. 집적 회로 제조의 기질 준비 단계에서 웨이퍼에 비소, 인, 붕소, 갈륨과 같은 얇은 교대 도펀트 층을 만드는 데 사용됩니다. 용광로에는 고유 한 사이클링 시스템 (cycling system) 이 장착되어 있으며, 주어진 시간에 최대 4 개의 다르게 도핑 된 웨이퍼 (wafer) 를 보유 할 수 있으며 확산 과정의 슬러리 (slurry) 또는 증기 (vapor) 단계를 통해 이러한 웨이퍼를 순환합니다. 따라서 높은 처리 속도 (Throughput) 와 향상된 주기 시간 (Cycle Time) 은 물론 최고 품질 표준을 유지할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 자동 컨베이어 로드 및 언로드 시스템도 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 신속 하고 효율적 으로" 챔버' 로 가져와, 베이킹 '을 위해 "바구니' 에 저장 하고, 미리 정의 된" 트레이 '에 적재 하고, 확산 처리 하고, "트레이' 에서 하역 한 다음, 챔버 에서 꺼내는 등 일련 의 단계 를 거치게 된다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 유연한 난방 및 냉각주기가 가능한 진공 용기가 포함되어 있습니다. 안전 시스템에는 트리플 존 (Triple-Zone) 배기 모니터 (Exhaust Monitor) 가 포함되어 있어 사이클의 결함 또는 고장을 감지하고, 열등한 레이어가 형성되면 자동 차단 (Automatic-off) 하고, 챔버 외부에서 동작이 감지되면 확산 프로세스를 종료합니다. TEL ALPHA-8 S는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리 시스템입니다. 여러 웨이퍼를 보관하고, 주기 (cycle) 를 낮게 유지하며, 확산 (diffusion) 프로세스에 적합한 환경을 제공하여 모든 운영 라인에 적합한 툴이 됩니다. 또한 배치 처리 (Batch Processing), 초슬림 레이어 처리 기능 등 다양한 옵션 기능으로 사용자 정의가 가능합니다. 확산 과정을 정확하게 제어 한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 는 품질에 영향을 미치지 않고 최대 용량에 가까운 생산 라인을 보장합니다.