판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814781

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 에칭, 건조 및 열 보조 증착 과정의 효율성을 최적화하기 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 세트입니다. 이중 측면 난방 구조가 특징이며, 정확도가 개선되어 균일 한 난방을 달성 할 수 있습니다. 또한, 통합 액체 질소 냉장고는 웨이퍼 로딩 및 언로딩 시간을 최소화하여 중단되지 않은 작동을 허용합니다. 이 최첨단 장치는 반도체 웨이퍼 제작, 나노 제작 (nano-fabrication), 태양 전지 생산 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. TEL ALPHA-8S에는 생산 프로세스를 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능이 있습니다. 이 제품에는 균일 한 에칭을 보장하는 펄스 플레이트 타입 샤워 플레이트 (Pulse-Plate Type Shower Plate) 와 프로세스 매개변수에 맞게 전자적으로 구성 할 수있는 6 축 스테이지 드라이브 장비가 장착되어 있습니다. 또한 수직으로 조절 가능한 냉각판이 있어 사용자에게 더 많은 유연성을 제공합니다. 그 에 더하여, "가스 '" 인젝터', "이오나이저 '및" 가스' 유동계 와 같은 "가스 '조절 성분 의 배열 이 갖추어져 있어서 그 과정 을 정확 하게 조정 하기 가 쉽다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S의 챔버에는 흑연 기반 밀폐 구조, 액체 질소 절연, 고성능 절연 플레이트와 같은 고급 열 절연 및 냉각 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 PAD (Solid state Projected Ion Source) 를 갖추고 있으며, 정확한 이온 빔 폭격 제어와 에칭 챔버에서 원치 않는 입자와 불순물을 제거하는 내장 클리닝 장치를 제공합니다. 아마도 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S의 가장 인상적인 특징은 HMI (Human Machine Interface) 입니다. 이 고급, 직관적인 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 통해 시스템 매개변수를 쉽게 조작할 수 있습니다. 따라서 사용자는 원하는 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 빠르게 조정할 수 있습니다. 이 HMI는 또한 "스마트 프로세스 (Smart Process)" 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 최상의 에칭 매개변수를 재생성하여 나중에 사용할 수 있도록 저장할 수 있습니다. 전반적으로, ALPHA-8 S는 에칭, 건조, 열 보조 증착 과정을 위해 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 솔루션을 원하는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 견고한 디자인, 고급 기능, 종합적인 HMI (HMI) 로 인해 신규 및 숙련 된 에칭 기술자 모두에게 매력적인 옵션이 될 수 있습니다.