판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814163

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 광범위한 초박막 증착 응용을 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 고급 액세서리 (advanced accessory) 와 컴포넌트 (component) 로 구성되어 있어 강력하고 다양한 도구를 사용할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 두 개의 별개의 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 흥분 소스를 갖추고 있으며, 이를 통해 균질성과 필름의 균일 한 증착이 가능합니다. RF 전원 공급 장치 (RF Power Supplies) 는 작동 중 높은 수준의 정확성과 안정성을 유지하면서 많은 전력을 공급할 수 있습니다. "마그넷 '조립 은 독특 한 설계 를 가지고 있으며, 매우 강력 하고 지속적 인 자기장 을 만들어 낼 수 있다. 이러한 기능은 다양한 주파수 (frequency) 에 걸쳐 사용자가 제어할 수 있도록 결합됩니다. 이 확산 로에는 증착 공정 (deposition process) 의 품질을 향상시키는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 온도 센서 (temperature sensor) 를 통해 기판의 온도를 높은 정확도와 속도로 감지할 수 있습니다. 온도 제어기는 균일 한 증착에 대해 열이 균등하게 분배되도록 보장합니다. "가스 '입력 은 완전 한 결과 를 얻기 위하여 원하는 기판 에 필요 한 정확 한 환경 을 조성 하도록 설계 되었다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 또한 강력한 자동 레시피 관리 시스템으로 대부분의 확산 용광로를 능가합니다. 특정 레시피 또는 사용자 지정 기판을 몇 초 안에 쉽게 프로그래밍, 회수할 수 있습니다. 내재 된 액티브 가스 제거 시스템 (Active Gas Purging System) 은 교차 오염을 제거하고 기질 손상으로 이어질 수있는 역반응의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 리크 체크 모니터 (Leak Check Monitor) 와 같은 안전 기능이 추가되어 가스가 누출되면 경보가 울립니다. 더욱이, 용광로 의 "세라믹 '난방 원소 는 온도 가 매우 강하며, 따라서 교체 할 필요 없이 연장 된 기간 동안 수행 할 수 있다. 알파 8 S (ALPHA 8 S) 는 신뢰할 수있는 확산 용광로 및 액세서리를 찾는 모든 생산 또는 연구 환경에 적합한 솔루션입니다. 광범위한 기능을 통해 정확하고, 효율적이며 안전한 박막 증착이 가능합니다.