판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811685

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고품질 실리콘 웨이퍼 생산을 촉진하기 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. TEL 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 는 고급 확산 공정을 사용하여 높은 알루미늄 전도성 영역을 형성하고, 낮은 저항성 영역을 형성하여, 장치 생산 중 더 좋고 정밀한 스트레스 제어를 가능하게합니다. 이어서, 확산 과정 (diffusion process) 에 이어 기판의 정밀한 층에서 정의 된 물질의 에피 택시 성장에 대한 고온 작동이 뒤 따른다. 도쿄 전자 알파 8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 는 이 과정을 신속하게 종료 할 수있는 빠른 냉각 시스템을 특징으로하여 생산 속도가 빨라집니다. ALPHA-8 S는 Advanced Transient Heating Power 및 Flowmon 장치 덕분에 정밀한 난방 및 냉각 전원을 제공합니다. 고급형 난방전원은 고온제어 (High Temperature Control) 가 가능하며, 높은 정밀도로 프로세스를 제어, 안전하게 모니터링할 수 있다. 플로 몬 (Flowmon) 머신은 고급 강제 흐름 기술을 사용하여 정확하고 제어 된 온도 범위 내에서 웨이퍼를 냉각시키고, 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 냉각을 일으켜 결함 비율을 줄이면서 수율 (yield rate) 을 증가시킵니다. TEL 알파 8S (Alpha 8S) 는 내구성 스테인리스 스틸 및 알루미늄 챔버로 구성되어 있으며, 최대 안전을 위해 밀봉됩니다. 이어서, 약실 에는 "가스 '흐름 도구 가 갖추어져 있어서 생산 과정 전체 에 걸쳐 정밀 하고 일관성 있는" 가스' 조절 을 하며, 균일성 이 향상 되고 누출률 이 감소 된 고품질 "제품 '을 만들 수 있다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S의 고급 강제 흐름 자산 및 전체 설계는 웨이퍼 제조 중 입자 배출 및 현장 제어를 낮출 수 있습니다. TEL ALPHA-8 S에는 멀티플렉서 모델, 질소 제거 기능, 웨이퍼 전송 하드웨어, 웨이퍼 로트 ID 리더 및 프로덕션 데이터 레코더를 포함하여 작업을 용이하게하기위한 여러 액세서리가 있습니다. 멀티플렉서 (multiplexer) 장비는 효율이 높으며 프로세스 내에서 값을 자동으로 조정하도록 설계되었습니다. 질소 제거 "시스템 '은 질소 로 약실 대기 를 제거 하는데, 이것 은 공정 물질 의 오염 과 산화 를 감소 시키는 데 도움 이 된다. "웨이퍼 '전송" 하드웨어' 를 이용 하면 운전자 는 "웨이퍼 '를 아무런 어려움 없이 안정적 으로 움직 일 수 있다. 로트 ID 리더기 (lot ID reader) 를 사용하면 연산자가 처리 중인 로트를 신속하게 식별하고 올바른 데이터 세트를 사용할 수 있습니다. 제품 데이터 레코더 (product data recorder) 는 운영자가 모든 운영 데이터 (production data) 와 프로세스와 연관된 다른 모든 데이터 (data) 를 추적하도록 도와줍니다. TEL ALPHA 8 S는 SEMI 및 관련 표준에 의해 설정된 모든 필수 사양을 충족하거나 초과하도록 제작되었습니다. 안정적이고 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 안전하고 제어된 환경에서 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 생산할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S (TOKYO ALPHA-8 S) 는 각 제품 실행에서 가장 높은 품질 표준을 요구하는 장치 제조업체에 적합한 솔루션을 제공합니다.