판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811673

TELTEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 산업 응용을위한 확산 용광로 장비 및 액세서리 패키지입니다. 레이저 임플란트, 에피 택시, 습식 산화, 열 처리, 게이트 산화, 이온 임플란타티온과 같은 고급 프로세스에 필요한 정밀도 및 균일 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 용광로 (furnace) 및 액세서리 (accessory) 패키지는 특정 프로세스 요구 사항, 정확한 레이어 두께와 균일성 보장, 시스템 가동 중지 시간 최소화에 맞게 조정됩니다. 텔 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 는 웨이퍼가 적재 된 외부 챔버와 확산 과정이 발생하는 내부 챔버로 구성됩니다. 외부 챔버의 중심에는 자동 웨이퍼 카세트 홀더가 장착되어 있습니다. 홀더의 각 코너에 위치한 리프트 (lift) 를 사용하면 웨이퍼를 내부 챔버로 부드럽게 옮겨 가공할 수 있습니다. 내부 "챔버 '에는 정확 하게 제어 할 수 있는 여러 가지 확산 원 이 들어 있다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S와 함께 제공되는 많은 액세서리 중에는 핫 월 소스가 있습니다. 이를 통해 서브 미크론 두께와 우수한 품질의 열 산화물의 균일 한 증착이 가능합니다. 이 소스를 사용하여 90% 이상의 균일성을 가진 확산 계층을 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 또한 C-MOS 게이트 확산 소스를 가지고 있으며, 이는 게이트 크기 및 필름 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이러한 확산 소스 외에도, TEL ALPHA 8 S에는 에칭 및 산화 가스의 효율적인 전달을 위해 강력한 가스 장치가 제공됩니다. 이 기계는 쉽게 설치할 수 있도록 특수 파이프와 밸브가 사전 패키지되어 있습니다. TEL Alpha 8S에는 매우 정확한 온와퍼 온도 조절 도구도 포함되어 있습니다. 이를 통해 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 열 분배가 가능합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 고도로 유능한 확산 용광로 자산 및 액세서리 패키지로, 복잡한 반도체 프로세스에 맞게 조정되어 있습니다. 고급 디바이스 구성 (Advanced Device Fabrication) 작업에 필요한 수준의 정확성과 균일성을 제공하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 특수 가스 모델, 온-웨이퍼 온도 조절 장비, 핫 월 소스 (hot wall source) 를 갖춘 이 패키지는 안정적이고 효율적인 확산 프로세스를 보장합니다.