판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293809604

텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 반도체 제조에서 최고 수준의 품질과 성능을 위해 설계된 고급 웨이퍼 확산로 장비입니다. 이 시스템은 대규모 칩 제조 (Large Scale Chip Manufacturing) 에서 장치 검증 (Device Qualification) 테스트에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S (ALPHA-8S) 는 최고의 안전, 품질, 프로세스 제어를 보장하는 다양한 독점 기능 및 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 장치의 중심에는 비교할 수없는 TEL 증기 확산 제작 프로세스가 있습니다. 나머지 불순물 수준은이 프로세스를 사용하여 생성 된 모든 웨이퍼에서 2ppm 미만이며, 이는 30ppm (최대) 에 도달 할 수있는 다른 시스템과 비교됩니다. 통합 튜브 퍼니스 (Tube Furnace) 기술은 전체 챔버에서 정확한 온도 균일성을 보장하여 정확한 매개변수 내의 모든 웨이퍼와 일관된 성능을 제공합니다. 동일한 기술을 통해 최강의 정밀한 프로세스 제어 (process control) 를 구현하여, 필요에 따라 운영자가 프로세스 매개변수를 모니터링하고 재조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 3 개 구역 중 하나에 상단 히터가 통합 된 3 개 구역 하단 사이드 히터 구성을 사용합니다. 이 구성은 확산 프로세스의 효율성, 균일성, 유연성을 극대화합니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 테이블 회전에 대한 정확도를 높여 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 제공합니다. TEL ALPHA-8 S는 고급 프로세스 기술 외에도 반도체 생산에 필요한 데이터/미디어 (data/media) 생산을 지원하는 여러 기능을 제공합니다. 미디어 서버 (Media Server) 기능을 사용하면 운영자가 추가 처리 또는 검증 단계 없이 주제 자료에서 프로세스 단계를 다운로드, 저장, 실행할 수 있습니다. 이것은 전체적으로 매우 효율적이고 정확한 프로세스를 보장합니다. 예측 도구 모니터링 머신 (Predictive Tool Monitoring Machine) 은 소프트웨어에 내장되어 프로세스 상태에 대한 실시간 정보를 제공하고, 모든 불일치에 대한 기록을 보관합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S) 에는 또한 고급 안전 기능이 포함되어 있으며, 프로그래밍 가능한 안전 잠금 도구로 사용자에게 중요한 안전 절차 및 유지 보수를 알려줍니다. 스프레이 모니터 (Spray Monitor) 자산은 스프레이 강도와 짝수를 지속적으로 검증하여 챔버에 가장 효율적인 가스 배달을 보장합니다. ALPHA-8 S는 PC 통신 인터페이스 및 자동 웨이퍼 전송을 위한 통합 로더/언로더 모델과 같은 추가 사용자 지정 가능한 기능으로도 제공됩니다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 오늘날 시장에서 가장 포괄적이고 다목적 인 확산 시스템 중 하나입니다.