판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293805551

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고급 확산 로로, 전자 부품의 효율적인 제작을 위해 설계되었습니다. TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 에서 제조 한이 장치는 반도체 생산을 위해 다용도, 신뢰성 및 저렴한 솔루션입니다. TEL ALPHA-8S 확산 로는 열 산화 프로세스에 이상적인 환경을 제공하는 수직 단일 웨이퍼 프로세서입니다. 이 효율적인 기계는 오염을 최소화하고 산화 균일성을 높이기 위해 설계되었습니다. 최대 1,200 ° C의 온도를 유지하면서 최대 20kW를 소비하는 강력한 300mm 핫 존 (hot zone) 이 장착되어 있습니다. 효율적인 냉각 장비는 총 3 분 미만의 열 주기 (total thermal cycle time) 를 통해 열 처리를 신속하게 냉각 및 완료합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 로의 핫 및 콜드 존은 6 개의 독립적으로 제어 된 듀얼 존 상위 및 하위 챔버로 구성됩니다. 이것은 전체 웨이퍼에 걸쳐 빠르고 균일 한 온도 분배를 용이하게합니다. 다양한 프로세스를 충족하기 위해 정적 (static), 동적 (dynamic) 및 적응형 (adaptive) 온도 조절을 포함한 여러 균일성 제어 모드를 사용할 수 있습니다. ALPHA-8S 확산 로에는 고급 컨트롤러 세트, 로우 프로파일 롤러 볼 유형 기판 지원, 가스 전달 시스템 등 다양한 액세서리가 번들로 제공됩니다. 통합 가스 전달 장치 (integrated gas delivery unit) 는 확산 로가 제어 된 양의 산소, 질소 및 기타 가스에 액세스하여 표면 반응의 상태를 효과적으로 수정 및 미세 조정 할 수있게한다. 또한 두 가지 유형의 온도 센서 (비 접촉 유형 적외선 온도계 및 접촉 유형 저항 온도 감지기) 가 표준 액세서리로 포함됩니다. ALPHA-8 S 확산 로는 무적의 안전 수준을 보장하기 위해 다양한 인증을 받았습니다. CE 및 UL과 같은 기본 안전 인증 외에도, 기계는 의료 장치 제조에 대한 ISO13485 표준 및 웨이퍼 절단의 정확성에 대한 SEMI S2를 준수합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S) 는 전자 업계의 구성 요소를 효율적으로 제작하기위한 고급 기능 및 액세서리를 제공하는 강력한 확산 로입니다. 온도 조절 핫 존 (Hot Zone) 및 콜드 존 (Cold Zone), 미세 튜닝 표면 상태를위한 가스 전달기, 센서 및 컨트롤러와 같은 액세서리 등의 기능이 있습니다. 광범위한 인증을 통해, 이 기계는 안정적이고, 정확하며, 안전한 생산을 보장합니다.