판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293802479

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 완전 모듈 식 8 챔버 확산 로와 액세서리입니다. 동종 열 처리 분야에서 정확하고 고품질의 처리 기능을 제공합니다. 이 제품은 처리량이 많은 애플리케이션을 지원합니다. 즉, 탁월한 운영 및 제공을 통해 시간을 절약할 수 있도록 설계되었습니다. TEL ALPHA-8S (TEL ALPHA-8S) 는 다양한 기판 크기, 유연한 제어 설정, 다양한 통합 구성 요소 등의 유연한 작동 기능을 통해 효과적인 열 처리 최적화를 가능하게 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 장비에는 고급 가스 흐름 시스템이 장착되어 있습니다. 고품질 열 교환 "가스 '의 정확 한" 가스' 흐름 을 이용 하여 정확 하고 정확 한 온도 조절 을 한다. 고공차 가스 흐름은 정밀한 가스 흐름 제어 밸브 (gas flow control valve) 와 고효율 가스 인젝터 (gas injector) 에 의해 달성됩니다. 주사에 의해 생성 된 정확한 열 기울기 (thermal gradient) 는 가장자리 효과를 줄이고 균일성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. TEL ALPHA 8 S 확산 로에는 고성능, 충격이 적은 세라믹 기판이 장착되어 처리 시간이 단축되고 품질이 향상되었습니다. 내구성이 뛰어난 세라믹 기질은 가장 공격적인 프로세스 애플리케이션에서도 견딜 수 있으므로 시간/수율 성능이 향상됩니다. 또한, 도자기는 광범위한 온도 내성 (temperant) 재료를 특징으로하여 정확하고 균일 한 처리 결과를 보장합니다. TEL Alpha 8S 확산 장비에는 전원 공급 장치가 내장되어 있으며, 안전 작동을 보장하는 다양한 안전 장치가 장착되어 있습니다. 온보드 전원 공급 장치는 과열 (overheating) 을 방지하기 위해 미리 설정된 최대 전원 설정을 제공하는 반면, 광범위한 안전 기능에는 자동 필터 모니터링 및 냉각 모듈 모니터, 온도 보호 (temperature protection) 및 과압 보호 (overpressure protection) 가 포함되어 있어 손상 방지 기능을 완벽하게 보호할 수 있습니다. TEL ALPHA-8 S 확산 로에는 고급 소프트웨어가 장착되어 있어 전체 시스템을 정확하게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 소프트웨어를 사용하여 프로세스 매개변수를 최적화하고, 설정을 구성하고, 추세를 모니터링할 수 있습니다. 또한 강력한 데이터 획득 및 분석 시스템 (Data Acquisition and Analysis System) 을 통해 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링 및 분석할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON ALPHA-8S 확산 장비에는 로봇 전송 모듈, CF 목욕 세라믹 모듈, 웨이퍼 처리 기술 등 웨이퍼 전송 및 전송 기술이 장착되어 있습니다. 따라서 프로세스 최적화를 효율적으로 수행할 수 있고, 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리할 수 있습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로와 액세서리는 높은 처리량 열 처리를 위해 안정적이고 효과적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 혁신적인 디자인, 정확도, 품질, 안전 기능을 통해 집약적인 열 처리 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.