판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794330

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S (TEL ALPHA-8S) 는 웨이퍼 제조 및 조립에 사용될 수있는 확산 로와 보조 장비입니다. 그 설계는 수직 다운 더 다이렉트 드라이브 시스템을 사용하여 낮은 열 왜곡 및 향상된 제어를 달성합니다. 도쿄 전자 알파 8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 에는 정밀한 온도 조절을 위한 가변 주파수 드라이브가 포함되어 있어 용광로 설정을 변경할 때 정확성과 반복성이 향상됩니다. 이 용광로에는 표준 배기 가스 유량 측정기 (standard exhaust gas flow meter) 가 장착되어 있어 가스 처리량을 최적화하여 프로세스 일관성 및 균일성을 향상시킵니다. TEL Alpha 8S는 확산, 산화, 질화 및 저온 어닐링을 포함한 다양한 열 과정을 지원합니다. 균일 한 "웨이퍼 '가열 을 보장 하기 위하여 용광로 에는 기계화 된 도가니 와" 스테이지' 회전 "시스템 '과 상하" 쿼츠 램프' 가 갖추어져 있다. 도가니 회전 (crucible rotation) 은 직접 구동 모터를 통해 수행되며, 도가니 회전 및 스테이지 회전 모두에 대해 각도를 독립적으로 선택할 수 있습니다. 이 두 가지 기능은 용광로 내에서 웨이퍼 균일성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 알파 8S (Alpha 8S) 에는 온도, 암모니아 및 배기 가스 차단 시스템을 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 용광로 (furnace) 는 온도가 설정 점을 초과하면 작동을 멈추는 온도 설정 장치 (temperature setting device) 와 함께 과온 작동을 방지하도록 설계되었습니다. 퍼니스에는 또한 고급 자동 제거 (auto-purge) 기능이 있으며, 이 기능은 열 프로세스 간의 시스템을 제거하여 처리량을 최적화하여 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 알파 -8 S (ALPHA-8 S) 는 일선 확산 로뿐만 아니라 반도체 제조 시설의 요구를 충족시키기 위해 다양한 지원 액세서리를 포함합니다. 여기에는 전기 자기 펌프, 온도 측정 프로브 및 웨이퍼 온도 평형 스탠드가 포함됩니다. 파우더 에어 필터 (powder-air filter) 와 같은 많은 추가 구성 요소도 옵션 액세서리로 제공됩니다. 알파-8S (ALPHA-8S) 는 다양하고 신뢰할 수 있는 확산 로로, 고품질의 고성능 반도체 장치를 생산하는 데 사용할 수 있습니다. 단순한 고급 기능과 다양한 지원 액세서리 (supporting accessory) 를 통해 다양한 웨이퍼 모양, 크기, 열 프로파일 (thermal profile) 을 만들 수 있습니다. 응용 프로그램에 높은 처리량, 균일성 또는 특정 프로세스 매개 변수에 대한 엄격한 준수가 필요한지 여부, 도쿄 전자 알파 8S (TOKYO ELECTRON Alpha 8S) 는 웨이퍼 제조 및 조립에 이상적인 선택입니다.