판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794213

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293794213
Furnace Process: TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusion Furnace는 고급 반도체 장치 제조의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 비용 효율적인 열 처리 솔루션입니다. 이 단일 챔버 수직 퍼니스는 공간 절약형 디자인에서 향상된 생산 용량과 향상된 수율을 제공합니다. TEL ALPHA-8S의 유연성은 자동 웨이퍼 전송, 온도, 압력 및 대기의 정밀 제어, 고급 프로세스 제어 시스템의 통합으로 달성됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 내부 깨끗한 튜브 덕분에 높은 정확도의 가스 결합 압력 제어, 6 챔버 상향 FAB 아키텍처로 향상된 처리량, 입자 오염 감소 효과를 제공합니다. 기체 결합 압력 제어는 고급 마이크로 일렉트로닉스 제작에서 중요하며 TEL 알파 8S (Alpha 8S) 가 전체 확산 과정에서 정확한 온도 및 압력 제어를 제공 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 강력한 프로세스 컨트롤러가 포함되어 있으므로 오프사이트 소프트웨어 제어가 필요 없으며, 즉시 프로세스 최적화가 가능합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 또한 고급 안전 기능을 제공하며 모든 안전 표준을 충족하거나 초과하도록 설계되었습니다. 여기에는 압력이나 온도가 사전 프로그래밍 된 안전 제한 (preprogrammed safety limit) 을 초과하면 활성화되는 자동 차단 시스템 (automatic shutoff system) 을 포함한 과압 안전 장비가 포함됩니다. 이 기구 는 또한 비상 사태 가 발생 할 때 신속 히 안전 하게 압력 을 완화 시키기 위한 "비상용 통풍구 '(emergency vent opening) 를 포함 하고 있다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 성능을 향상시키고 효율성을 극대화하는 다양한 액세서리가 있습니다. 여기에는 진공기, 비활성 가스 도입 도구, 비활성 가스 배기 및 복구 자산, 로드 락 진공 지원, 화물실, 모니터링 및 제어 시스템이 포함됩니다. 자동 웨이퍼 처리 모델은 TEL ALPHA-8 S (ALPHA-8 S) 와 호환되므로 로트 크기, 처리량 및 추가 장비 통합에 대한 제어가 향상되었습니다. 또한 알파-8S (ALPHA-8S) 에는 열 냉각 단계 (옵션) 가 있으므로 열 처리의 빠른 발전 과정에서 웨이퍼의 온도가 빠르게 낮아집니다. 고급 안전 기능, 정확한 제어, 강력한 프로세스 제어 시스템을 갖춘 ALPHA 8 S 확산 퍼니스 (Alpha 8 S Diffusion Furnace) 는 까다로운 반도체 장치 제조 산업에 이상적인 솔루션입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 비용 효율적인 공간 절약으로, 향상된 생산 용량과 향상된 수율을 제공합니다.
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