판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775119

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 이방성 에칭 및 확산 과정을위한 정밀 도구입니다. TEL ALPHA-8S (TEL ALPHA-8S) 는 다양한 기판으로 정확하고 반복 가능한 에칭 및 확산 작업을 가능하게 하며, 처리량 및 제조성을 극대화합니다. 이는 견고한 설계 및 개발 예산과 짧은 리드 타임에 이상적입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 단일 웨이퍼 확산 및 에칭 장비로, 최대 작동 온도 범위는 500 ° C ~ 1300 ° C입니다. 가변 압력 반응물 전달 시스템 (Variable Pressure Reactant Delivery System) 을 사용하여 소규모 및 중형 구조를 정확하게 제조 할 수 있습니다. 기판 이동을위한 단단 벨트 드라이브 (Single Stage Belt Drive) 를 갖추고 있어 빠른 처리량, 부드러운 기판 위치 및 조정 가능한 벨트 로딩 속도를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 고급 온도 및 압력 감지 장치가 장착되어 있으며, 이를 통해 프로세스 조건을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 고급 기계는 화로로 정확하고, 반복 가능하며, 일시적으로 최적화 된 열 및 가스 흐름을 허용합니다. 또한 고급 폐쇄 루프 (closed loop) 컨트롤을 통해 반응 조건을 정확하게 제어하고 일관되고 재생 가능한 확산/에칭 결과를 제공합니다. 또한, TEL 알파 8S (Alpha 8S) 는 내장 된 초저입자 환경 챔버를 가지고 있으며, 이는 작업 기판에서 거의 0에 가까운 미립자 오염을 보장합니다. 이것은 다른 기판에서 서브 미크론 해상도와 높은 수율을 보장합니다. 컴퓨터가 제어하고, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 확산 프로세스를 효율적으로, 쉽게 제어할 수 있습니다. 알파-8 S (ALPHA-8 S) 는 또한 많은 지원 옵션을 갖추고 있으며, 에칭 및 확산 프로세스를위한 만능 도구입니다. 여기에는 기질 회전, 공정/리프트 오프 퀸칭, 에치 백, 고압 CVD, 도펀트 활성화, 백사이드 에칭, 빠른 산화 및 빠른 질화 등이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S 는 또한 다양한 에처 (etcher) 와 도프 (dope) 를 사용하여 에칭 및 확산 작업을 쉽게 구성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S 확산 로는 에칭 및 확산 프로세스를위한 신뢰할 수 있고 다양한 도구입니다. 고급 온도 및 압력 감지 시스템 (Pressure Sensing System) 은 정확하고 일관된 결과를 보장하는 반면, 단단 벨트 드라이브는 효율적인 처리량을 제공합니다. 알파 8S (Alpha 8S) 는 다양한 지원 옵션과 결합하여 생산 및 연구에 이상적인 고가용성 확산 및 에칭 도구를 제공합니다.