판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775116

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 퍼니스는 웨이퍼 기판의 열 처리를위한 고급 도구입니다. 고도의 균일성과 정확성을 유지하면서 상당한 생산성 향상을 제공하는 8 구역 Parallel Linear 핫 월 (hot wall) 설계가 특징입니다. 용광로의 선형 (linear a.c.) 전자기 열벽 설계는 용광로의 작동 챔버 전체에서 더 빠른 온도 경사, 고효율 및 더 많은 열 균일 성을 허용합니다. 텔 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 는 회사의 고급 컨트롤러와 함께 제공되며, 이를 통해 사용자는 CVD 및 질화물 프로세스와 같은 열 처리를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 컨트롤러는 컬러 터치 스크린 작동을 제공하며, 각각 64 단계로 최대 16 개의 프로그램을 제공합니다. 이 정교한 장치에는 프로세스 모니터링 (옵션), 완전 자동 보정, 작업 예약을 위한 실시간 클럭 (clock) 도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 고성능, 최적의 프로세스 제어 및 빠른 처리 시간을 위해 설계되었습니다. 전력 소비량이 적고 설치 공간이 작기 때문에 공간 제한 또는 원격 환경에 적합합니다. 용광로는 최대 1150 도의 온도 범위를 제공하며 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 강력한 배기 송풍기가 포함되어 있으며, 이는 용광로 챔버 전체에서 온도 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. 용광로는 또한 더 빠르므로, 더 효율적인 램프 속도를 제공하여 처리량과 생산성을 높입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 안전하고 안전한 작동이 가능한 모든 안전 기능이 제공됩니다. 용광로 는 차가운 "클램셀 '뚜껑을 만져 가동 중 열손실 을 방지 하며, 쉽게 열림, 폐쇄, 잠길 수 있다. TEL ALPHA-8 S (TEL ALPHA-8 S) 는 또한 챔버 온도를 모니터링하고 사전 설정된 범위 이외의 온도 편차를 감지 할 수있는 열 모니터를 특징으로합니다. 온도가 정해진 한계를 초과하면 이 모니터는 자동으로 시스템을 종료합니다. 마지막으로, 퍼니스에는 ESS (Emergency Shutoff Switch) 가 완비되어 기계의 쉽고 안전한 비상 종료가 가능합니다. 요약하면, ALPHA-8S 확산 퍼니스는 열 처리 웨이퍼를위한 고급 도구입니다. 8 구역 Parallel Linear 핫 월 디자인이 특징이며 생산성이 높고 균일합니다. 컨트롤러에는 강력하고 사용자에게 친숙한 인터페이스와 완벽한 자동화 기능이 있습니다. 낮은 전력 소비량과 적은 설치 공간은 모든 공간 및 예산 제약에 부합합니다. 플러스 (Plus) 8S 퍼니스에는 긴급 차단 스위치, 온도 모니터 (Temperature Monitor) 와 같은 안전 기능도 있어 모든 실험실 환경에 안전하고 안전한 선택이 가능합니다.