판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775114

텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 실리콘 웨이퍼에 금속을 증착하도록 특별히 설계된 확산 로이자 관련 액세서리입니다. TEL ALPHA-8S는 금속 화학 증기 증착 (MOCVD) 용광로이며 초고진공 장비를 사용합니다. 3 개의 독립적 인 가스 라인을 특징으로하며 독립적 인 온도 조절을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 가장 신뢰할 수있는 MOCVD 시스템 중 하나이며 종종 갈륨 비소, 인듐 포스피드 및 인듐 안티모나이드와 같은 III-V 화합물 반도체 층의 생산에 사용됩니다. TEL ALPHA-8 S는 진공 범위가 10-11 Torr인 고급 UHV (Ultra High Vacuum) 시스템을 갖추고 있습니다. 이 수준의 진공 상태에서는 산소 오염이 없으며, 재료 소비가 크게 감소 된 고품질의 에피 택시 층 (epitaxial layer) 을 생성합니다. 또한 고급 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 를 장착하여 분자 수준에서 프로세스 가스를 제어하고 프로세스 가스의 의도하지 않은 탈출을 방지합니다. 또한, TEL ALPHA 8 S는 동시에 최대 3 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 생산 효율이 향상됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 로에는 포괄적 인 안전 기능이 있습니다. 열 소산 (heat dissipation) 과 쿼츠 잠금 장치 (quartz locking mechanism) 가 향상된 미러 난방 장치 (mirror heating unit) 와 같은 기능은 슬래그 형성을 방지하는 데 도움이 되며, 덮개 안전 작업은 도어가 열리면 프로세스를 자동으로 중지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 또한 거울과 샘플 사이의 광학 간섭을 방지하는 ARC (Anti-Reflection Coating) 기계가 장착되어 있습니다. 하드웨어 및 외부 장치 측면에서 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 염소 또는 질소 가스 공급 시스템, 로봇, 가스 흐름 컨트롤러 및 원격 운영 시스템과 같은 여러 액세서리와 호환됩니다. 알파 8S (Alpha 8S) 에는 웨이퍼 온도와 매우 민감한 적외선 반사 카메라를 측정하기 위해 빠르고 정확한 석영 온도계가 장착되어 있습니다. 안전 및 제어 작업을 위해 ALPHA-8 S는 자유롭게 프로그래밍 가능한 경고 시스템과 터치 스크린 그래픽 사용자 인터페이스 도구 (GUI). 결국, ALPHA-8S (ALPHA-8S) 는 광범위한 하드웨어/소프트웨어 기능을 갖춘 고급 확산 로로, 다양한 제작 공정에서 사용할 수 있습니다. 고급 UHV 에셋을 사용하면 고품질 에피택시얼 레이어 (epitaxial layer) 의 증착에 이상적이며, 안전 기능은 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 gallium arsenide, indium phosphide 및 indium antimonide layer manfrication과 같은 III-V 화합물 반도체 층에서 사용하기 위해 훌륭한 선택입니다.