판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770421
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고급 확산 로로, 고급 반도체 장치의 경쟁 생산에 사용되며, 장치 제조업체에 전례없는 전력을 제공합니다. TEL ALPHA-8S는 8 인치 웨이퍼 용량을 가지며 최대 11 개의 고유 한 확산 매개변수를 운영 할 수 있습니다. 용광로는 매우 빠릅니다. 고출력 로딩 시스템을 사용하여 8 초 안에 최대 2 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 고급 열 제어 기술과 안전 기능이 장착되어 있습니다. 예를 들어, 용광로의 연속 온도 제어 (Continuous Temperature Control) 기능은 필요에 따라 온도 수준을 지속적으로 모니터링하고 조정하여 연산자의 입력이 최소화되어 완벽한 조건을 보장합니다. 또한, 화염 차단 모듈 (Flame Blocking Module) 은 히터로 들어 오기 전에 공기 산화 및 오염으로부터 웨이퍼를 보호합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 3.2kW 및 최대 온도 1,200C에서 작동합니다. 용광로에는 10 채널 온도 조정 모듈이 장착되어 있으며, 동시에 최대 11 개의 확산 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 제조는 보다 효율적이고 정확한 장치를 생산할 수 있습니다. 알파 8 S (ALPHA 8 S) 는 또한 다양한 애플리케이션에 가스를 도입 할 수있는 멀티 가스 전달 구성을 갖추고 있습니다. 용광로는 C-2 가스와 질소와 모두 호환됩니다. 새로 채택 할 수있는 넓은 형식의 따뜻한 벽을 갖춘 새로운 챔버 디자인 (chamber design) 은 광범위한 확산 매개변수를 가능하게하며, 작업 중에 더 높은 웨이퍼 가시성을 얻을 수 있습니다. ALPHA-8S에는 정확한 작동 및 제어가 가능한 OMS (Online Monitoring System) 가 기본으로 제공됩니다. OMS 는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 실시간 모니터링 시스템 (real-time monitoring system), 드라이브 기록 및 수집된 데이터 로깅 기능을 갖추고 있습니다. OMS는 운영자가 각 웨이퍼의 진행 상황을 추적하는 완벽한 도구입니다. 알파-8 S (ALPHA-8 S) 확산 로는 혹독한 산업 환경을 견뎌내도록 설계되었으며, 평생 보증이 제공되며, 마음의 평안함과 전체 고객 만족도를 제공합니다.
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