판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770344
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 박막 증착 목적으로 특별히 설계된 확산 로입니다. TEL 리미티드 코퍼레이션 (TEL Limited Corporation) 이 개발했으며, 정밀 엔지니어링에 이상적인 다양한 기능을 제공합니다. TEL Alpha 808S에는 단일 유형 소스 셔터 모듈, 기판 히터, 온도 컨트롤러 및 자동 포인팅 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 소스 셔터 모듈 (source-shutter module) 은 증착 공정에 제공된 재료의 양을 정확하게 조정하도록 설계되었습니다. 그것은 0 ~ 1,600 ° C 사이의 온도를 유지하는 데 사용되는 Peltier 장치를 갖추고 있습니다. 기판 히터는 ± 0.1 ° C의 정확도로 별도로 제어 할 수 있으며, 기질의 정확한 온도 조절이 가능합니다. 용광로에는 최대 ± 1 ° C의 정확한 온도 조절을 제공하는 온도 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 이를 통해 표본의 균일 한 가열과 냉각이 가능합니다. 자동 포인팅 시스템 (automatic pointing system) 을 사용하면 챔버 주위를 기판이 이동하여 매우 정확한 증착 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Alpha 808S는 과열 경보 장치, 가스 차단 장치 등 다양한 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 및 압력 컨트롤러 (Pressure Controller) 와 같은 옵션 기능이 추가되어 Alpha 808S의 정밀 엔지니어링 기능이 더욱 향상되었습니다. 압력 제어기 (pressure controller) 는 챔버 압력의 정확한 조절을 허용하고 질량 흐름 제어기 (mass flow controller) 는 정확한 재료 흐름을 보장합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 다양한 기능을 제공하는 특수 확산 로로, 정밀 공학에 대한 높은 확신을 제공합니다. 단일 유형 소스 셔터 모듈 (single type source-shutter module), 온도 컨트롤러 (temperature controller) 및 자동 포인팅 시스템 (automatic pointing system) 과 같은 다양한 기능을 통해 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 옵션 압력 및 질량 흐름 컨트롤러를 추가하여 TEL Alpha 808S의 정밀 엔지니어링 기능을 더욱 향상시킵니다.
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