판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769821
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고밀도, 집약적 프로세스에 탁월한 성능을 제공하는 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 주로 반도체 및 옵토 전자 산업의 이온 이식 및 확산 프로세스에 사용됩니다. 최고 수준의 성능과 정밀도가 필요한 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. TEL ALPHA-8S는 완전히 통합 된 확산 로입니다. 이중 듀티 강제 대류 장비 (Dual-Duty Forced Convection Equipment), 더 나은 균일성을 위해 낮은 온도 영역, 빠른 난방 및 냉각 기능을 위해 더 높은 온도 영역이 특징입니다. 이 시스템의 온도 범위는 900 ° C에서 1050 ° C입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 전자 공정 제어가 장착되어 있어 가장 어려운 환경에서도 정확한 PID 및 모델 제어가 가능합니다. 또한 고급 알고리즘과 증착 방법을 사용하여 가스와 산소 수준을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 센서 제어 히터를 사용하여 정밀한 난방 및 냉각 기능을 제공합니다. TEL Alpha 8S는 제어 기술의 최신 혁신을 특징으로합니다. 고급 명령 및 제어 인텔리전스 (Intelligence Module) 가 장착되어 있어 빠르고 쉬운 프로그래밍 및 명령이 가능합니다. 또한 내부 메모리와 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 제공하여 보다 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. ALPHA-8 S는 확산 프로세스의 다용성과 능력을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 강력한 물리적 설계와 혁신적인 기술을 갖춘 이 툴은 프로세스 속도 향상, 성능 향상, 프로세스 균일성 향상 등을 제공합니다 (영문). 또한, 이 고급 자산은 정확하고 안정적인 온도 설정을 제공하여 정확한 결과와 반복 (repeatability) 을 가능하게 합니다. ALPHA-8S는 가장 까다롭고, 정밀하며, 집약적인 프로세스에 적합합니다. 우수한 성능과 안정적인 결과를 자랑하는 이 모델은 "반도체 '와" 옵토전자' 업계에서 이온 이식 (implantation) 과 확산 (diffusion) 공정을 선호한다.
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