판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769731

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 최첨단 확산 로와 관련 액세서리로, 반도체 및 전자 산업의 고정밀 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 빠른 복구 시간, 짧은 주기, 높은 처리량을 제공하는 탁월한 온도 해상도를 제공합니다. TEL ALPHA-8S에는 고온 웨이퍼와 함께 사용할 수있는 이동식 쿼츠 (Removable Quartz) 가열 블록이 장착되어 있어 다중 고정이 필요하지 않습니다. 이 용광로의 고온 능력은 또한 폴리 실리콘 (polysilicon) 및 실리콘-게르마늄 (silicon-germanium) 과 같은 물질의 빠른 열 처리를 가능하게한다. 도쿄 전자 알파 8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 의 가열 블록은 독립적으로 제어되며 열전 냉각기를 내장하여 온도 프로파일을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 쿼츠 라이너 (quartz liner) 가 장착 된 흑연 서셉터 (graphite susceptor) 는 균일 한 가열면과 긴 수명을 제공하는 데 사용되며, 탈착식 쿼츠 쉴드는 열 방사선으로부터 웨이퍼 공용을 보호합니다. 도쿄 전자 알파 8S (TOKYO ELECTRON Alpha 8S) 에는 피로미터 (pyrometer) 도 포함되어 있어 가열 블록의 온도 범위를 벗어난 경우에도 온도 모니터링이 가능합니다. ALPHA-8 S는 용광로 챔버 전체에서 우수한 균일성을 위해 설계되었습니다. 3 점 온도 보상 장비는 최대 1 ° C 미만의 변형을 통해 전체 챔버에서 우수한 온도 균일성을 보장합니다. 멀티 슬롯 턴테이블은 수동으로 웨이퍼를 회전할 필요가 없으며, 멀티 슬라이스 시스템 (multi-slice system) 은 여러 웨이퍼를 쉽게 로드하고 제거할 수 있습니다. 또한, 알파 8S (Alpha 8S) 에는 전체 프로세스에 걸쳐 우수한 온도 균일성을 제공하는 진공 대피 장치가 장착되어 있습니다. 방에는 난방 과정에서 웨이퍼를 봉인하기 위해 질소 퍼지 머신 (nitrogen purge machine) 이 함께 제공됩니다. 이를 통해 확산 손실이 적은 효율적이고 재현 가능한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 마지막으로, TEL ALPHA-8 S 에는 포괄적인 소프트웨어 지원이 포함되어 있으며, 특정 요구 사항에 맞게 레시피 매개변수를 만들 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 용광로 (furnace) 를 간단하고 쉽게 프로그래밍하고 조작할 수 있으며, 고급 사용자도 용광로 (parameters) 를 사용하여 공구를 최대한 활용할 수 있습니다. TEL Alpha 8S (TEL Alpha 8S) 는 반도체 및 전자 산업의 정밀 응용을위한 탁월한 확산 로입니다.