판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293764342

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 로는 화학 증기 증착 과정을위한 정확하고 정확한 고온 어닐링 장치입니다. 이 매우 정확한 열기계 장치는 고급 기술에 대한 업계 최고의 열 균일성, 반복성, 프로세스 산출량을 제공합니다. TEL ALPHA-8S 확산 로는 독점 설계 요소를 사용하여 정확하고 고립 된 온도 프로파일을 생성하므로, 정확한 가장자리 필드 제어 온도 및 열 균일성을 허용합니다. 이 용광로 (furnace) 는 실온에서 최대 1500 ° C의 정확한 온도 조절을 제공하여 프로세스 엔지니어가 다양한 응용 프로그램의 프로세스 조건을 개발하고 최적화 할 수 있습니다. 퍼니스는 또한 쿼츠 라인 (quartz-linined) 및 알루미늄 (aluminum) 상호 연결을 사용하여 정밀한 전력 전달을 위해 낮은 온도와 빠른 처리 시간을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 로에는 보정기, 냉각 헤드 및 과열 난방 보호 시스템을 포함한 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 보정기는 용광로 챔버 (furnace chamber) 에서 기판과 석영 라인 상호 연결 사이의 온도 유창 보정을 제공합니다. 냉각 헤드는 기판의 외부 경계에서 정확한 온도 조절을 보장하는 반면, 과열 가열 보호 시스템 (over-temperature heads) 은 과열 프로세스 오류로 인해 상호 연결을 손상으로부터 보호합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S 확산 로는 실시간 프로세스 모니터링 및 분석을 위해 고급 소프트웨어를 사용합니다. 소프트웨어 제어 인터페이스 (Software-controlled interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 자동으로 최적화할 수 있으며, 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 통해 엔지니어가 용광로 및 액세서리에 대한 자세한 사양 정보를 제공합니다. 이 프로그램을 통해 유지 보수 직원은 프로세스 수율을 최적화하고 비용을 절감할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 확산 경로는 고급 기술 생산을위한 완벽한 솔루션입니다. 매우 정확한 열역학적 설계 요소와 여분의 액세서리 (extra accessory) 를 갖춘 퍼니스는 모든 프로세스에 대해 정밀 온도 제어를 제공합니다. 또한 프로세스 엔지니어의 실시간 프로세스 모니터링, 압력, 온도, 시간을 자동으로 최적화할 수 있습니다. 업계 최고의 열적 균일성, 반복성, 프로세스 생산량을 자랑하는 ALPHA-8 S 확산 퍼니스는 단기간에 탁월한 성능을 보장해 주므로, 첨단 기술 생산에 탁월한 선택이 됩니다.