판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759271

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 매우 정밀한 열 처리 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. PLC (Advanced Programmable Logic Control) 및 여러 프로세스 챔버를 갖춘 TEL ALPHA-8S는 최첨단, 고급 확산 기능, 복잡한 열 처리 작업을 위한 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 장비는 고정밀도, 초미세 열 처리 작업에 적합하며, 초고온 어닐링 (annealing) 및 기타 정밀 프로세스를 빠르고 정확하게 수행 할 수 있는 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 고효율, 에너지 절약 및 지능형 제어 수소 및 질소 감소를 사용하여 최적, 빠르고 정밀한 열 처리를 수행합니다. PLC 프로그램은 온도, 경사 속도, 온도 분포 및 기타 확산 매개변수를 정확하게 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 확산 시스템은 또한 이중 온도 제어 회로를 통합하여 수소 (Hydrogen) 및 질소 전달 시스템 (Nitrogen Delivery System) 을 개별적으로 제어 할 수 있습니다. TEL Alpha 8S (Alpha 8S) 는 개별 사용자 요구 사항을 충족하도록 사용자 지정 및 구성할 수 있는 여러 프로세스 챔버로 설계되었습니다. 이 장치에는 특수 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 와 고온 산화, 감소 및 확산 처리에 최적화 된 챔버가 있습니다. 확산 기계는 또한 멀티 존 (multi-zone), 멀티 챔버 (multi-chamber) 정밀 온도 제어를 사용하여 특히 정확한 반도체 다이 및 부품으로 작업 할 때 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 도구는 또한 화염 안전 차단 모드 (Flame Safety Shutdown Mode) 및 안전 차단 (Safety Shut Off) 밸브를 빠르게 활성화하여 안전한 작동과 최적의 성능을 보장하는 기능을 포함하여 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 다른 안전 기능으로는 정확한 온도 감지를 위한 활성 교정 자산 (active calibration asset) 과 정밀 가열을위한 적응 식 가열 및 활성 대기 관리 시스템 (active atmosphere management system) 이 있습니다. 또한, TEL ALPHA-8 S에는 방사선 및 가스에 대한 고급 경고 및 보호 시스템이 포함되어 있으며, 운영자에게 최적의 안전을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 까다롭고 정확한 열 처리 응용 분야에 적합합니다. 탁월한 프로그래머블 로직 컨트롤 (programmable logic control), 여러 공정 챔버 및 고급 안전 기능으로 인해 도전적이고 정밀도가 높은 열 처리 작업에 적합합니다. 고성능, 고급 확산, 산화, 감소 및 기타 정확한 열 프로세스를 수행하는 기능을 제공합니다.