판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293754614

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텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 반도체 제조 산업에 고정밀도, 효율성 및 안정적인 도핑을 제공하도록 설계된 고성능 확산 로이자 액세서리입니다. 수직 하중 구조, 독특한 절전 OXGATE 드라이브 장비 및 온도 균일성 향상을 위한 고급 온도 조절 시스템이 특징입니다. TEL ALPHA-8S 퍼니스는 정확한 화학 전달을 위해 석영 도가니 및 2 데크 가스 흐름 제어 장치로 구성됩니다. 수냉식 증발기 (water-cooled evaporator) 를 사용하여 증발 속도를 최소화하며 전체 웨이퍼 표면에서 매우 높은 온도 균일성을 가질 수 있습니다. 상단 갑판에는 패들 로딩 스테이션과 정확한 셔터 제어를 위해 가변 각도/다중 위치 셔터 어셈블리가 있습니다. 하부 데크 퍼니스에는 고정밀 도핑을 달성하기 위해 OXGATE 초점 코일이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 우수한 온도 균일성을 제공하여 넓은 웨이퍼 영역을 정밀 도핑할 수 있습니다. 또한, 분할 로트 (split lot) 프로세스 균일성 테스트를 효율적으로 실행할 수 있는 기능을 제공하여 다양한 슬릿 너비 및 웨이퍼 크기에 맞는 기능이 향상되었습니다. TEL ALPHA-8 S는 또한 뛰어난 테스트 효율성을 제공합니다. 다운타임을 최소화하고, 재생성을 최대화하여, 생산 부지 검증 (production lot validation) 의 정확성을 높이고, 수율을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 특허받은 펄스 러닝 머신 (pulse running machine) 의 통합은 프로그래밍 복잡성을 줄여 사이클 시간을 줄이고 전반적인 생산성을 향상시킵니다. 또한, 고급 온도 제어 도구는 임베디드 온도 센서를 사용하여 효율적인 작동을 보장합니다. 전반적으로, ALPHA-8 S는 반도체 산업을 위해 매우 고급적이고 안정적인 도핑 솔루션을 제공합니다. 고정밀도 온도 조절과 균일성을 제공하여 자산 안정성 (stability) 과 수율을 높일 수 있습니다. 전력 절약형 OXGATE 드라이브 모델, 가변 각도/다중 위치 셔터 및 향상된 생산성을 위한 펄스 (pulse) 실행 장비를 통해 Alpha 8S는 뛰어난 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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