판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 다재다능한 반자동 배치 확산 로와 액세서리로 사용자가 질화물, 옥시 니트 라이드 및 질화물-옥사이드 필름을 정확하게 생성 할 수 있습니다. 균일성 (unifority) 과 재현성 (reprodibility) 이 좋은 고품질 열 처리를 가능하게 하여 장치와 기판의 대량 생산에 이상적입니다. TEL ALPHA-8S는 매우 정밀한 온도 조절, 자동화된 프로세스 모니터링 및 조정 기능, 안정적인 수직 가스 분배 장비를 갖추고 있습니다. 용광로에는 30 인치, 앵커 백업 석영 튜브가 장착되어 있어 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 의 최대 온도 등급은 1,150 ° C이며, 작동 가능한 영역은 하단, 중간 및 상단의 사용자 정의 온도 설정을 허용합니다. 효율적이고 자동화된 프로세스 제어 시스템이 구현되어 정밀한 처리가 가능합니다. 온도, 압력, 반응 시간을 실시간으로 설정, 조정하여 사전 설정된 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 퍼니스는 2 개의 코일로 구성된 새로 개발 된 "듀얼 코일 (Dual-Coil)" 유형의 가스 분사 장치로 구동됩니다. 이러한 코일은 가스 흐름 제어 향상, 가스 균일성 향상, 전체 프로세스 제어를 위해 독립적으로 배치 될 수 있습니다. 또한 Alpha 8S 는 유연성을 제공하도록 설계되어 수동 및 완전 자동 작동을 모두 지원합니다. 수동 프로세스 제어 (Manual Process Control) 는 프로그래밍 가능한 셋포인트 (Setpoint) 를 제공하여 사용자가 쉽게 환경과 상호 작용하고 제품 요구 사항에 따라 런을 신속하게 조정 및 수정할 수 있습니다. 최적의 산화 성능을 지원하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 현장 내 열 산화 활성을 모니터링 및 표시하는 통합 산화 모니터가 기본으로 제공됩니다. 이 in situ 모니터링 시스템 (in situ monitoring machine) 은 사용자가 프로세스의 산화 상태에 대해 적시에 데이터와 정보를 제공하며, 이는 선택한 프로세스의 효율성을 나타냅니다. 또한 통합 프로세스 제어 도구 (integrated process control tool) 는 웨퍼별 프로세스 균일성을 최적화하는 데 사용할 수 있는 일정한 피드백을 제공합니다. 액세서리를 사용하여 TEL ALPHA 8 S의 성능을 더욱 향상시킬 수도 있습니다. 프로세스 인터럽트 센서 및 유연한 암 로더 (flexible arm loader) 와 같은 옵션은 추가 제어 및 유연성을 제공합니다. 이러한 기능을 사용하면 운영 과정에서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 뛰어난 확산 로와 액세서리 키트입니다. 자동화된 프로세스 제어, 고온 등급, 정밀 모니터링을 통해 TEL Alpha 8S 는 품질 제품을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 사용자는 종합적인 액세서리 옵션을 활용하여 특정 요구 사항에 맞게 알파-8S (ALPHA-8S) 를 사용자 정의하고 세밀하게 조정할 수 있습니다.