판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293704454
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 최첨단 확산 로와 액세서리 장비로, 정밀 처리 요구 사항에 맞는 고성능 정보와 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 반도체 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 맞춤 설계되었으며, 집중적인 맞춤형 처리 (custom processing) 어플리케이션도 지원합니다. 고급확산로 (Advanced Diffusion Furnace) 는 작업의 요구 사항에 따라 조정할 수 있는 다양한 제어 설정 (Control Setting) 과 기능을 제공합니다. 고온 Linear Quartz Furnace가 장착되어 최대 3,000 ° C의 온도 조절이 가능합니다. 여기 에 직접 연결 되는 "가스 '배달 장치 는" 가스' 흐름 에 대한 수동 혹은 자동 조절 을 제공 하고 "가스 '흐름 을 정밀 하게 조절 할 수 있게 해 준다. 또한, Fluorine Chemical Vapor Deposition chamber는 필요한 화학 증기 농도에 따라 화학 증기 성분이 공급되도록 보장합니다. TEL ALPHA-8S 기계는 두 가지 기본 부품으로 구성됩니다. 첫 번째는 선형 석영 퍼니스 (Linear Quartz Furnace) 가있는 석영 챔버로 완성 된 용광로 자체입니다. 또한, 퍼니스는 외부 히터 컨트롤러 및 온도 센서를 통해 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 의 온도 및 대기 모니터링을 허용합니다. 이 도구에는 쿼츠 챔버의 균일 한 가열과 온도의 오븐과 균일 성을 정확하게 제어하는 전자 빔 히터 (Electron Beam Heater) 를 제공하는 흑연 히터 (Graphite Heater) 가 장착되어 있습니다. 자산의 두 번째 부분은 고성능 액세서리로 구성됩니다. 진공 "펌프 '는" 가스' 가 외부 환경 에 직접 전달 되도록 한다. 또한, 확산 튜브 (diffusion tube) 는 사용자가 용광로 (furnace) 에 들어가는 가스를 모니터링하여 온도 및 대기의 정확한 제어를 가능하게한다. 또한, 모델에는 RF 증발기 (RF Evaporator) 가 있으며, 이는 얇은 레이어를 배치하는 데 필요한 원자 스트림을 제공하며, 또한 증착되는 레이어의 두께를 제어 할 수 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 정밀 처리 요구 사항에 대한 고급 정보와 정확성을 제공하는 최첨단 확산 로입니다. 고급 기능과 액세서리 (accessory) 는 사용자 정의/집약적인 처리 시나리오를 위한 완벽한 도구입니다. 특허를 획득한 Linear Quartz Furnace (Linear Quartz Furnace) 및 광범위한 액세서리와 함께, 이 장비는 소규모 및 대규모 생산 업무 모두에 탁월한 성능을 제공합니다.
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