판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293627956

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 모든 유형의 확산 용광로를 용이하게하도록 설계된 다중 구역 확산 용광로입니다. 생산 프로세스를 단순화하고 최신 생산 라인의 효율성을 개선하도록 설계되었습니다. 어닐링, 사전 확산, 반응, 열 산화, 불순물 확산 및 기타 CVD/PVD 프로세스를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. TEL ALPHA-8S (Multi-Zone Diffusion Furnace) 는 생산 비용을 절감하고 동시에 속도와 품질을 향상시키기 위해 설계된 다중 영역 확산 로입니다. 퍼니스는 마이크로 프로세서 제어, 온도 안정화 반응 챔버 및 최신 프로그래밍 가능한 정밀 가스 전달 구성 요소로 구성됩니다. 견고한 빌드는 최고 수준의 가동 시간, 안정성 및 재현성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S '챔버의 최대 온도 범위는 300 ° C ~ 1150 ° C (1 ° C 단위) 이며 모든 유형의 확산 프로세스를 허용합니다. 또한 "웨이퍼 '와 기판 을 쉽게 적재 하고 적재 할 수 있는 독특 하고 회전 할 수 있는" 웨이퍼 보우트' 가 있다. 또한, 퍼니스는 반응 챔버의 온도에 의해 제어되는 고효율 비활성 가스 순환 장비를 가지고 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S 는 또한 효율성 향상을 위해 설계된 다양한 액세서리와 옵션을 갖추고 있습니다. 이러한 액세서리에는 가스 분사 시스템, 통합 가스 스크러버 및 역 필터링 장치가 포함됩니다. 가스 주입기 (gas injection machine) 는 다환계 방향족 및 기타 가스의 제어 된 도입을 가능하게하며, 이는 확산 과정을 변경할 수있다. 통합 가스 스크러버 (gas scrubber) 는 반응 챔버에 들어가기 전에 유해한 부산물을 제거하도록 보장한다. 한편, 역 필터링 도구를 사용하면 청소 된 가스의 배기를 모니터링할 수 있습니다. ALPHA 8 S는 대규모 생산 시설에 이상적인 선택입니다. 넓은 온도 범위와 프로그래밍 가능한 기능으로 인해 광범위한 확산 프로세스 (diffusion process) 에 적합합니다. 견고한 디자인과 효율적인 액세서리는 생산 라인의 효율성을 더욱 향상시킵니다.