판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761

텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 다양한 유형의 최대 300mm 웨이퍼 및 스루핑 성능을 갖춘 관련 부품을 처리하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 시스템은 대용량 제어, 냉각 및 처리 기능을 제공합니다. 여기에는 웨이퍼 수송을위한 내부 게이트 밸브, 확산 및 어닐링 챔버 (diffusion and annealing chamber), 정확한 모니터링 및 온도 조절을위한 파이로메트리 장비 (pyrometry) 와 같은 다양한 기능이 포함됩니다. TEL ALPHA-8S는 1200 Series-A 가스 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이는 높은 스루핑, 반복성 및 안정성을 위해 정확한 온도 및 가스 제어를 위해 확산 챔버에 통합되어 있습니다. 이 기계에는 최대 8 개의 기판 유형, 8 개의 작업 유형 및 8 개의 웨이퍼 홀더 크기의 효율적인 작업 통합을 위해 멀티 태스킹 인터페이스가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 프리 히트 펌프는 정확한 산화물 성장 조절을 제공하며, 5 개의 증발기 스틱 밸브는 전력 램핑 및 전력 제어 안정성을 제공합니다. 압력 모니터링 (Pressure monitoring) 기능을 통해 광범위한 부품에 대해 최대 200 개의 torr 압력 제어를 통해 최적의 도핑 깊이를 달성할 수 있습니다. 또한, 캡슐화 된 cOOLPOD는 온도 프로파일의 향상된 반복 가능성을 제공합니다. TEL Alpha 8S 미세 조정 드라이 펌프 장치는 시간당 300 개의 기판을 처리할 수 있으며 Ewafer Applications Suite 인터페이스는 소프트웨어 제어 및 원격 진단을 허용합니다. 이 기계는 또한 챔버 (chamber) 내에서 균일 한 열 분배를 제공하기 위해 전면식 도어 (full-face door) 를 갖추고 있으며, 필요에 따라 다양한 기판을 실행할 수 있으며, 추가 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 설치할 수있는 옵션을 제공합니다. 통합 피로메트리 머신 (pyrometry machine) 은 온도 이동을 감지하고, 정밀 프로세스를 활성화하며, 광범위한 기판에서 반복성을 보장하도록 설계되었습니다. 데이터 기록 기능이 내장되어 있어, 데이터 캡처를 손쉽게 수행할 수 있어 프로세스 개발을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 자동화는 유연성 (Flexible) 으로 설계되어 최적의 웨이퍼 프로세스 레시피 생성 및 전체 웨이퍼 추적이 가능합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 대량의 최대 300mm 기판을 처리 할 수있는 고효율 도구를 제공합니다. 알파 8S (Alpha 8S) 는 통합 가스 제어 자산, 효율적인 직업 통합 및 자동화, 정확한 피로메트리 및 드라이 펌프 시스템, 효과적인 데이터 캡처 및 추적 등의 기능을 결합하여 다양한 확산 처리 및 어닐링 어플리케이션에 최적의 솔루션을 제공합니다.