판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293606033

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 최첨단 확산 로와 동반 액세서리입니다. wafer 장치에 donor 및 acceptor-doped 레이어를 만들도록 특별히 설계되었습니다. TEL ALPHA-8S 가스 전달 장비 및 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 통합 자동화 모듈 (Automation Module) 은 안정적이고 정밀한 확산 프로세스를 보장합니다. 이 기계는 지능형 보호 기능, 정확한 온도 조절, 수평 및 수직 히터에 대한 우수한 온도 균일성 (Experient Temperity) 을 갖추고 있으며, 균일 한 도펀트 프로파일을 보장합니다. 이 시스템은 장치 안정성 및 정확성 향상을 위해 자가 진단 기능 (self-diagnostic function) 과 고급 온도 센서 (advanced temperature sensor) 로 설계되었습니다. 다른 특징으로는 장수 터보 분자 펌프 (long-life turbo molecular pump) 와 액체 흐름을 모니터링하여 물질이 낮아지지 않도록 모니터링하는 비 접촉 레벨 검출기 (non-contact level detector) 가 있습니다. 유해물질의 우발적 방출을 방지하기 위한 안전대책이 확산되고 있다. 이른바 "유해물질 '이다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 유출, 온도 균일성 및 작동 중 장비 변형을 감지하는 고급 모니터링 시스템이 포함됩니다. 메모리 (memory) 기능을 사용하면 자주 사용되는 처리 조건을 리콜하고 매개변수를 재설정하지 않고 재사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 설정 시간이 크게 단축될 수 있습니다. 게다가, 이 기계는 손쉬운 유지 보수 작업을 수행할 수 있도록 설계되었으며, 더 높은 처리 용량을 제공하며, 전력 소비량을 낮추고, 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 기존 장비 및 시스템과 통합하여 원활한 자동화 기능을 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 TEL ALPHA-8 S (TEL ALPHA-8 S) 는 다양한 종류의 확산 프로세스에 적합한 신뢰할 수있는 장비입니다.