판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957
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판매
ID: 190957
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 제조에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 증기 상 에피 택시 (VPE), 선택적 열 산화, 질화 실리콘 증착을 수행하고 LED 변환 프로세스를 자동화 할 수 있습니다. 정밀한 온도 조절 및 균일 한 웨이퍼 처리를 위해 통합 된 컴퓨터 제어 시스템을 갖춘 사용이 간편한 자동 로더 (automated loader) 를 갖추고 있습니다. 텔 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 는 섭씨 1250도의 표준 고온 제한과 다중 영역 온도 조절 시스템을 통해 여러 지역에 걸쳐 온도를 조절합니다. 첨단 에너지 절약 설계 및 최첨단 핫 존 (Hot Zone) 재질은 높은 열 성능과 더 높은 프로세스 균일성을 보장합니다. 공기 베어링 스핀들 드라이브 (spindle drive) 와 딥 포인트 척 (deep-point chuck) 은 정확한 기판 위치화와 사용 편의성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 또한 이중 6.5 인치 모니터와 프로세스 매개 변수를 쉽게 모니터링하기 위해 확대 가능한 GUI를 포함하여 디스플레이 도구 배열을 갖춘 직관적인 HMI (Human-Machine Interface) 를 갖추고 있습니다. 다른 기능으로는 LPH (Line and Point Heat) 처리 응용 프로그램의 다중 열 제어 및 비정상적인 사용으로 인한 증착 품질 저하 예방을위한 원격 유지 관리 (Remote Maintenance) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 는 고급 기술 및 독점 소프트웨어를 사용하여 제품의 품질을 극대화하면서 프로세스 최적화 및 수율 제어를 위한 효율성, 비용 절감, 최적의 성능을 제공합니다. 반응성이 낮은 알루미늄 합금 챔버 (aluminum alloy chamber) 와 균일 한 와전류 (eddy current) 및 공랭식 차폐는 긴 사이클링 작업에 이상적입니다. 가격 경쟁력이 뛰어난 TEL 자동 기판 로더와 결합된 ALPHA-8S 는 노드 밸런싱 (Node Balancing) 환경을 위한 통합 제어 시스템을 제공하여 최적의 프로세스 성능을 제공합니다.
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