판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #119701
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 119701
빈티지: 1997
Vertical diffusion furnace
Currently Configured for Nitride with 8" Notched Wafers
1+5 Wafer Type
Integrated Open Cassette Loaders
Load Lock System: Yes
TS-4000 System Controller
Temp. Controller Model M-121
Unit 1660 MFC Controller
TEL Model VMM-40-101 Heater
Boat Rotation – Inspection needed
Signal Tower (Red, Amber, Green)
Gas Detector: No
Quartz Parts: Outer/Inner Tube, Boat, Pedestal, Fin, Manifold, Shutter, and Cap Covers, One Injector and T/C Port Cover
Gas System
N2
NH3
SiH2CI2
N2O
1997 vintage
As-is, where-is.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 고도로 정교한 장비는 빠른 가열과 냉각을 모두 제공할 수 있는 반면, 증착과 에칭 (etching) 공정에서 가장 높은 정확도, 정밀도를 충족할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 흑연 기반 받침대 (pedestal) 로 구성되며 고온 프로세스 동안 온도 조절을위한 내장 냉각 장비 및 공기 불기 장치를 갖추고 있습니다. 또한 독점 TEL 개발 빠른 난방 유도 코일 (Quick-heating Induction Coil) 이 포함되어 있어 500 ° C/second의 빠른 난방 속도를 제공하여 별도의 난방 요소가 필요하지 않습니다. 추가 질소-가스 정화 시스템은 정확한 반응성 공정에 대한 산소를 제거함으로써 추가 공정 보안 계층을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 특정 사용자 요구를 충족하는 다양한 맞춤형 옵션도 포함되어 있습니다. 여기에는 다양한 크기와 모양으로 조정 할 수있는 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 와 고효율 플라즈마 모니터링 (plasma monitoring) 및 제어 장치 (control unit) 가 포함됩니다. 알파 -8S (Alpha-8S) 에는 다양한 온도 센서와 지능형 소프트웨어가 포함되어 있어 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한 각기 다른 "가스 '흐름 을 관리 하여 식각 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 FD-SOI, FinFET, 3D-NAND, 메모리 및 디스플레이 필름 응용 프로그램을 포함한 고급 반도체 기술과 같은 정확하고 고온 프로세스에 이상적인 선택입니다. 또한 평면 패널 디스플레이 패널, 박막, MEMS 장치의 제작에도 광범위하게 사용됩니다. 따라서 TEL ALPHA 8 S는 광범위한 제조 어플리케이션에서 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 요약하면, TEL Alpha 8S 확산 로와 액세서리는 정확하고 고온 증착 및 에칭 프로세스를 위해 고성능, 안정성, 사용자 정의 가능한 솔루션입니다. 고급 설계, 냉각 장치 내장, 맞춤형 옵션을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 다양한 반도체 및 관련 어플리케이션을 위한 강력하고 다양한 장비입니다.
아직 리뷰가 없습니다