판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN은 실리콘 웨이퍼에서 모놀리식 집적 회로를 제조하는 데 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 이 기계는 최대 12 개의 독립적으로 프로그래밍 가능한 공정 튜브를 제공하며 열 산화물, 질화물, 도핑 산화물, 도펀트 드라이브 인 (dopant drive-in) 을 포함한 다양한 가스상 프로세스를 실행할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S-ZVN에는 우수한 열 성능을 제공하는 쿼츠 튜브 챔버 (quartz tube chamber) 가 장착되어 있으며, 정확한 온도 조절을 통해 1200 ° C 이상의 초고온을 달성 할 수 있습니다. 확산 프로세스에 대한 정확한 균일성을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN의 각 튜브에는 독립 영역 온도, 난방 전, 램프 업 및 냉각 온도 설정이있는 정확한 이중 영역 온도 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이것은 고도의 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 제공하여 정확한 제조 공정을 가능하게합니다. 알파 8S-ZVN (Alpha 8S-ZVN) 은 또한 자동화 된 산화제 생성 시스템을 갖추고 있으며, 이는 확산 챔버에서 산소 농도를 정확하고 일관되게 유지하여 웨이퍼에 균일 한 산화물 두께를 허용한다. 이 기계에는 또한 고유한 RFID 지원 웨이퍼 로딩 서브시스템이 장착되어 있으며, 이 서브시스템은 확산 프로세스 전반에 걸쳐 모든 웨이퍼를 안전하게 레이블을 지정하고 추적하여 복제, 더 빠른 웨이퍼 로딩 시간을 제공합니다. TEL Alpha 8S-ZVN은 또한 비소와 인을 포함하여 다양한 표준 도펀트 드라이브 인 (dopant drive-in) 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이러한 공정의 경우, 기계는 질소 또는 아르곤/수소 혼합물을 생성 할 수 있으며, 보다 안전하고 효율적인 도펀트 드라이브 인 (dopant drive-in) 을 가능하게한다. 이 기계는 또한 VTMS (simultaneous vinyltrimethoxy silane) 및 아르곤/수소 플라스마를 포함한 다양한 드라이브 입력 및 정리 옵션을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN은 고밀도 모놀리식 집적 회로 제조에 이상적인, 안정적이고 정확한 확산 로와 액세서리입니다. 수많은 안전 기능, 안정적인 온도 조절 시스템 (Temperated Temperature Control System) 및 자동 웨이퍼 로딩 서브시스템 (Automated Wafer Loading Subsystem) 을 갖춘 고급 집적 회로를 제조하는 강력한 도구입니다.