판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF #9227418

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF는 반도체 산업의 웨이퍼 처리에 특히 사용되는 고급 확산로 및 액세서리입니다. TEL Alpha 8S ZVF 장비는 CVD 및 확산 과정에서 뛰어난 온도 균일성, 높은 처리량 및 향상된 웨이퍼 수율을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF 시스템의 기능에는 고온 CVD를위한 듀얼 챔버 디자인, 고압, 고온 공정 챔버 및 향상된 웨이퍼 처리량을 위한 개선 된 환경 챔버가 포함됩니다. 또한 Alpha 8S ZVF에는 추가 인라인 광로, 옵션 UHV (Ultra High Vacuum) 성능 모듈이 포함되어 있으며 전반적인 프로세스 제어를 개선하기 위해 가스 분배가 개선되도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF의 Dual Chamber Design을 사용하면 고온 CVD 및 RTP (Rapid Thermal Processing) 또는 RTA (Rapid Thermal Annealing) 모듈로 2 단계 프로세스 흐름이 가능하므로 스텝 범위가 향상되고 프로세스 균형성이 향상됩니다. 듀얼 챔버 디자인에는 가공 가스를 균등하게 분산시키는 쿼츠 전기 쇼어 헤드 (quartz-electric showerhead) 가 포함되어 있으며, 안전성을 향상시키는 저전력 웨이퍼 난방 요소도 포함되어 있습니다. TEL 알파 8S ZVF (Alpha 8S ZVF) 의 고압 고온 모듈은 접촉 온도가 유지되는 반면, 우수한 재료 균일성과 높은 와퍼 처리량을 제공합니다. 이 모듈은 최대 600 torr의 압력과 최대 1400 도의 온도를 처리하도록 설계되었으며, 이중 쿼츠-탄소 시트 존, 개선 된 쿼츠-탄소 금-코팅 로로 및 폐쇄 루프 가스 분포 장치 (closed-loop gas distribution unit) 도 포함합니다. 또한, TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF 퍼니스는 프로세스 제어 및 안전 향상을 위해 설계되었으며, 사용자에게 정확한 가스 온도 조절 및 더 큰 프로세스 창을 제공합니다. Alpha 8S ZVF의 UHV (Ultra High Vacuum) 성능 모듈 (옵션) 은 플라즈마 및 진공 보조 프로세스에 훨씬 낮은 압력 환경을 제공하여 최대 1400도의 저압, 초고온 프로세스를 지원합니다. 이 모듈은 또한 단일 쿼츠 요소 디자인, 처리 가스를 균등하게 분배하는 듀얼 쿼츠 전기 쇼어 헤드, 안전성 향상을 위해 저전력 웨이퍼 난방 요소를 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVF 기계는 CVD 및 확산 프로세스 동안 반도체 산업에 우수한 온도 균일 성, 높은 처리량 및 개선 된 웨이퍼 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구의 이중 챔버 설계 (Dual Chamber Design), 고압, 고온 모듈 및 UHV 모듈 (옵션) 은 향상된 단계 범위, 향상된 프로세스 균일성 및 더 높은 처리율을 제공하여 웨이퍼 수율을 높이고 프로세스 제어를 개선합니다.