판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9093254

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV
ID: 9093254
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
TEOS furnace, 8" Controller: TS-4000Z 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZV는 일반적인 산업 및 실험실을 위해 설계된 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 스플릿 존 (split-zone) 제어 및 여러 개의 핫 존 패널을 갖춘 통합 멀티 존 (multi-zone) 핫 존 패널을 갖춘 수직 퍼니스입니다. 핫 존 (Hot Zone) 패널은 2 개 또는 3 개의 별도 영역으로 구성될 수 있으며, 이는 대규모 프로세스 창과 정확한 온도 제어를 제공합니다. TEL ALPHA-8S-ZV는 핫 존 (hot zone) 패널에 견고하고 유지 보수가 적은 흑연 가열 요소를 사용합니다. 이 요소는 최대 800 ° C (1472 ° F) 의 온도를 제공하며 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 장비에는 진공계, 쿼츠 전망실, 정밀 온도 조절 장치 등이 포함됩니다. 정확 한 온도 조절 "머신 '은 모든" 존' 에서 정확 한 대기 를 제공 하도록 설계 되었으며, 따라서 그 도구 는 대부분 의 "애플리케이션 '에 적합 하다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV는 어닐링 및 확산, 빠른 열 처리에 이르기까지 많은 응용 분야에 적합합니다. 자산은 전자 제품 제조, 반도체 장치 가공, 생물학적 및 의료 연구, 촉매 및 화학 반응, 재료 연구 등 다양한 분야에서 사용될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV는 튜브 퍼니스, 퍼니싱 트레이, 쿼츠 보트, 퍼니싱 컵, 다양한 액세서리 등의 추가 구성 요소에 액세스 할 수 있습니다. 튜브 퍼니스는 어닐링 (annealing) 및 확산 응용에 여러 구역이 필요할 때 안정성과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 가구 용지함은 핫 존 (Hot Zone) 패널을 구성할 때 큰 프로세스 창과 유연성을 제공합니다. 온도계, 광학 피로미터, 광학 온도계 등 8S-ZV에서 다양한 온도 센서를 사용할 수 있습니다. 이 검출기는 정확한 온도 측정 및 제어에 함께 사용될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZV는 탁월한 정확도, 프로세스 다양성 및 뛰어난 온도 균일성을 제공하는 종합 장비입니다. 광범위한 고온 처리 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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