판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #293625746

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV 확산 로는 반도체 웨이퍼 및 기타 재료의 고급 열 처리를 위해 설계된 고성능 장치입니다. 단일 챔버 장치이며 고급 사분면 사이클론 확산 장비를 갖추고 있습니다. 이 퍼니스는 통합 된 Advanced Versa-Sil 후드를 특징으로하며, 이는 공기 난기류를 최소화하고 전통적인 후드 디자인과 관련된 증착 변형을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 확산 퍼니스는 최대 200mm 또는 8 인치 크기, 최대 10mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 와퍼를 쿼츠 챔버에 안전하게 맞추기 위해 고급 Z 자형 대상 도킹 시스템을 사용합니다. 이 장치는 열 제어기 (thermal controller) 동안 웨이퍼가 안전하게 유지되고 최대 1200 ° C의 열 균일성에 정확하게 노출됩니다. TEL ALPHA-8S-ZV 확산 로에는 고급 파우더 피딩 머신 (powderfeeding machine) 도 포함되어 있으며, 웨이퍼에 파우더 증착 중 뛰어난 제어 및 정밀도를 제공합니다. 이 기계 에는 또한 자동 온도 "컨트롤러 '가 장착 되어 있는데, 이" 컨트롤러' 는 공정 의 각 단계 의 온도 를 조정 하여 "챔버 '내 의 정상 된 열 환경 을 유지 한다. 열 처리 (thermal treatment) 를 유지하기 위해 이러한 컨트롤러를 사용하여 필요한 경우 챔버 온도를 정확하게 모니터링하고 열 제어를 시작할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV 확산 로는 자동 로드 록 및 배기 도구도 갖추고 있습니다. 이것은 웨이퍼를 처리하는 동안 통제 및 안전한 가스 환경을 보장합니다. 또한이 자산은 5 x 10-7 torr 미만의 챔버에서 진공 수준을 제공하도록 설계되었습니다. 이 확산 로 (diffusion furnace) 의 전체 공정 은 고급 "온보드 컴퓨터 '에 의하여 더욱 촉진 되는데, 이" 컴퓨터' 는 그 공정 의 특정 한 매개변수 를 자동화 하도록 계획 될 수 있다. 이 컴퓨터를 통해 사용자는 증착율 (Deposition Rate), 열 환경 확인 (Check on the Thermal Environment) 및 모델과 관련된 다른 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Alpha 8S-ZV 확산 로는 반도체 재료의 고정밀 열 처리를 위해 고급적이고, 안정적이며, 단단한 제어 장비입니다. 자동화된 시스템, 고급 사분면 사이클론 확산 (quadrant cyclone diffusion) 기술을 통해 사용자는 웨이퍼와 재료가 안정적이고 일관성 있고 정확한 열 처리를 받고 있음을 확신 할 수 있습니다.