판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN #9227413

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN
ID: 9227413
웨이퍼 크기: 8"
VF Field oxide systems, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZAN 9 "확산 로는 반도체 및 MEMS 처리를 위해 강력하고 내구성이 뛰어난 도구입니다. 고유한 디자인은 모든 프로세스 목표에 걸쳐 뛰어난 균일성, 안정성, 균일한 온도 제어를 제공합니다. 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 우수한 프로세스 제어 장비를 갖추고 있습니다. TEL Alpha 8S ZAN 9 "에는 쿼츠 라인 분할 하중 챔버와 강력한 3 존 난방 시스템이 있습니다. 3 구역 난방 장치는 2 개의 수평 영역과 1 개의 수직 영역으로 구성됩니다. 수평 영역 (horizontal zone) 은 보다 균일한 온도를 제공하는 반면 수직 영역은보다 정확한 온도 제어를 제공합니다. 석영으로 된 분할 하중 챔버는 납 손실을 줄이고 제품의 품질을 향상시킵니다. 또한 더 큰 "웨이퍼 '와 더 많은 수 의" 칩' 을 처리 할 수 있는 넓은 작업 구역 이 있다. 또한, 한 구역에서 다른 영역으로 쉽게 전환 할 수있는 종 (bell) 스타일의 퓨저가 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9 "확산 로에는 모든 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수있는 자동 및 수동 컨트롤이 있습니다. 온도 안정화와 정확성도 최고입니다. 디지털 PID 컨트롤러를 사용하면 가장 가까운 0.1 ° C까지 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 챔버 온도는 1 ° C ~ 1200 ° C에서 조정할 수 있으며, 상위 영역 온도는 200 ° C ~ 1200 ° C에서 조정할 수 있습니다. 실리콘, 화합물 반도체, 질화물, 산화물 등 많은 물질 을 처리 하는 데 사용 될 수 있다. TEL ALPHA 8S-ZAN 9 "확산 로에는 설치 및 작동이 용이한 사용자 친화적 인 기능도 장착되어 있습니다. 쉽게 조절 가능한 벌크 헤드 (bulkhead) 를 통해 빠른 잉고 (ingot) 포지셔닝을 가능하게하며, 이는 부드러운 벌크 로딩 프로세스를 용이하게합니다. 또한 충격 이나 전기 위험 (Electrical Hazard) 으로부터 사용자를 보호하기 위해 고급 전기 안전기 (Electrical Safety Machine) 를 보유하고 있습니다. 견고하고 내구성이 뛰어난 부품으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9 "확산은 모든 처리 환경에 적합한 선택입니다. 효율성과 탁월한 성능으로 인해 Alpha 8S ZAN 9 "확산은 MEMS 및 반도체 처리에 적합한 선택입니다. 안정적이고 효율적인 작동, 정확한 온도 제어는 탁월한 결과를 제공하며, 종소리 스타일의 퓨저로 빠르게 바뀔 수 있습니다. 마지막으로, 사용자에게 친숙한 기능을 통해 모든 기술 수준의 사용자가 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다.
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