판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #9227420

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZA는 반도체 제조에 사용되는 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리입니다. 독보적 인 "디자인 '은" 컴퓨터 칩' 을 위한 "실리콘 '기판" 웨이퍼' 를 빠르고 정확 하게 만들 수 있게 해 준다. 이 기계 의 내부 에는 거의 완전 한 진공 상태 에 있는 "챔버 '가 있는데, 이것 은 도펀트' 원소 를 기판 에 확산 시킬 수 있게 해 준다. 여기에는 어닐링 챔버가 포함되어 있으며 EBS (Electronic Batch System) 가 특징이며, 챔버 내부의 플럭스, 온도 및 압력의 동기화를 용이하게합니다. 원하는 조건 을 조성 하는 데 사용 되는 진공 상태 는 열 "펌프 '와 화학" 펌프' 의 조합 으로 이루어진다. 특히, 확산 용광로는 오일 확산 펌프 (oil diffusion pump) 와 냉동 펌프 (cryopump) 를 사용하여 시스템에서 고체와 가스의 부분 압력을 제거합니다. TEL Alpha 8S-ZA 의 독보적인 설계를 통해 사용자는 여러 프로세스를 동시에 실행할 수 있고, 온도를 균일하게 유지할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 중 전체 고정밀 교정 계측은 오차 문제를 최소화하는 데 도움이됩니다. 그 결과, 이 용광로 는 전체 석판화 과정 을 우월 하게 제어 해 주며, 표면 과 대량 (bulk) 의 최적 인 종결 을 이룰 수 있다. 이 제품의 다른 기능으로는 고급 기판 냉각 시스템 (Advanced Substrate Cooling System), 여러 레이어를 동시에 증착하고 에칭하고 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있는 강력한 플라즈마 소스 (Plasma Source) 가 있습니다. 이 확산 용광로는 안정적이고 에너지 효율적입니다. 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 사용하면 지정된 프로세스를 수행하는 데 필요한 시간이 크게 단축됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA는 안정적이고 효율적인 확산 로가 필요한 모든 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 반도체 연구, 부품 제조 및 기술 개발에 적합합니다. 정확하고 신뢰할 수있는 운영으로 인해 업계의 많은 사람들로부터 인정을 받았습니다. 알파 -8S-ZA (Alpha-8S-ZA) 의 품질 구성 요소, 최첨단 정밀 계측 및 고급 체계적인 기능은 모든 고급 확산 용광로 프로젝트에 적합한 선택입니다.