판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #293776298

ID: 293776298
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Furnace, 6"-8" Process: O2 Anneal, dry oxide (5) Zone heaters Wafer shape: SNNF Wafer cassette: Plastic, 8" (150) Product wafers Gas capabilities: N2, O2 Paddle control thermocouple Place of control T/C: Between outer tube and inner tube TS4000Z System controller Reserved batch operation (5) End effectors Maximum temperature: 1100°C No SMIF Interface No N2 Load lock No boat rotation 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA 확산 퍼니스는 반도체 산업의 혁신적인 제품입니다. 고급 (Advanced) 프로세스 제어 기능과 고급 (Advanced) 기능으로 설계되어 안정적이고 고성능 부품을 생산하는 데 적합합니다. TEL 알파 8S-ZA는 고급 알루미나 섬유 절연으로 만들어진 수평 타입 퍼니스로, 매우 정밀한 패턴 링 챔버 (patterning chamber) 를 특징으로하며, 복잡한 것을 대량 생산하기에 적합합니다. 이 장비에는 향상된 온도 조절을위한 가열 압력 챔버, 흑연 고주파 유도 전력 (Graphite High Frequency Induction Power) 을 사용한 중단 된 방사형 가열 및 최적의 열 제어를 위한 독특한 가열 챔버가 포함됩니다. 또한 용광로에는 15 인치 터치 LCD 디스플레이와 PC 인터페이스가 포함되어 있어 작동과 제어가 용이합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA의 흑연 고주파 유도 전력 (Graphite High Frequency Induction Power) 은 최대 800W의 전력을 공급할 수 있으며, Bluetooth 데이터 전송을 사용하여 원격 위치에 도달함으로써 정밀하고 난방 커버리지를 제공합니다. 가열된 압력 챔버 (heated pressure chamber) 및 중단 된 방사형 가열 (interrupted radial heating) 을 통해 용광로는 짧은 시간 안에 고온 안정성으로 원하는 온도를 유지할 수 있습니다. 또한 ALPHA-8S-ZA는 2 단계 정화 시스템 덕분에 빠르고 쉬운 클리닝 기능을 제공합니다. 첫 번째 레벨은 비활성 가스 대기이며, 비활성 아르곤 (Argon) 대기이며, 용광로 안에 남아있는 오염 물질을 안전하게 제거합니다. 두 번째 단계 는 진공 "시스템 '이자 화학 기화" 시스템' 으로서, 내부 부품 들 을 깨끗 하게 유지 하고 모든 응축수 로부터 자유 케 하는 데 도움 이 된다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA 확산 용광로는 질화물, 화학 증기 증착 (CVD) 및 금속 밀봉 용광로로 추가 액세서리를 사용하여 사용자 정의가 가능합니다. 안정적이고, 일관적이며, 효과적이며, 정확하고 뛰어난 열 제어 기능을 제공하며, 생산 시간을 40% 줄였습니다. 이 장비는 고급 기능으로 업계에서 널리 호평을 받았으며, 반도체 (반도체) 생산에 이상적인 선택이었다.
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