판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9297064

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SCN 확산 로와 액세서리는 다양한 반도체 및 MEMS 장치 제작 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 장비 는, 최적 된 공정 결과 를 위해 챔버 내 의 시간, 온도, 대기 를 정확 하고 정확 하게 제어 할 수 있다. 최대 1280 ° C의 온도를 달성 할 수 있으며 저온, RTA (Rapid Thermal Annealing) 및 고온 기능에 대한 여러 옵션을 제공합니다. TEL Alpha 8SCN은 작업을 단순화하는 원 터치, 사용자 친화적 인 HMI (Human Machine Interface) 및 탁월한 처리량 및 프로세스 최적화를 위한 빠른 저온 램프 속도 기능을 제공합니다. 용광로 내의 균일 한 온도 분포 (temperate distribution) 는 공정의 균일성을 가능하게하여 매우 작은 영역을 초래한다. 이러 한 균일 한 온도 분배 는 효율적 인 방법 으로 이루어지며, 따라서 "시스템 '은 여러 유사 한" 시스템' 들 보다 운영 비용 이 낮게 사용 될 수 있다. 이 장치에는 챔버 내부의 산소 수준을 지속적으로 모니터링하는 FIMOS-2 (In-Situ Oxygen Measurement Machine) 와 같이 안전하고, 정확하며, 반복 가능한 측정을 보장하기 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 Coater ERDR (Edge Retention Device) 및 ECLIPSE 데이터 획득 도구와 같은 통합 IT 솔루션을 사용하여 프로세스 매개 변수를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 8SCN (TOKYO ELECTRON Alpha 8SCN) 은 내부 용량이 커서 칩 캐리어에 기판을 적재 할 수 있도록 설계되었으며, 그 후 웨이퍼 카세트 셰이커 (wafer cassette shaker) 에 의해 퍼니스에 적재 할 수 있습니다. 다른 표준 기능으로는 전자 압력 밸브 (electronic pressure valve), 밸브를 반전시켜 기판 손실을 방지하는 셔터 안전 (shutter safety) 기능, 자동 냉각 팬 및 저소음 환경 자산이 있습니다. 따라서 장기간 안전하고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 알파 8SCN (Alpha 8SCN) 은 오늘날 많은 반도체 및 MEMS 응용 프로그램에 이상적인 기계이며, 최고 품질의 결과를 보장하기 위해 고급 기능으로 설계되었습니다. 정확한 온도 조절, 빠른 램프 속도 (RAM) 기능, 실시간 측정 및 분석 기능, 통합형 IT 솔루션을 통해 다양한 기술 프로세스에 적합한 안정적이고 효율적인 선택이 가능합니다.