판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z는 반도체 장치 제작과 같은 다양한 응용 분야에 고성능 확산 및 산화로를 제공하는 고급 도구입니다. 용광로에는 높은 진공 실로 둘러싸인 내부 챔버 (camber) 가 있으며 최대 온도 2500 ° C에 도달 할 수 있습니다. 플라즈마 소스, 배기 가스 장치 및 제로 에어 (Zero-Air) 누출 장비가 장착되어 있습니다. 용광로 (furnace) 에는 각 구역에 대해 내부 조절 가능한 전원 설정을 갖춘 8 구역 제어 기능이 있으며, 이를 통해 균일 또는 선택적 처리가 가능합니다. 또한 웨이퍼 용 로더 및 언로더와 자동 로딩 및 언로딩을위한 8 포켓 디스트리뷰터가 장착되어 있습니다. TEL ALPHA 8SZ 확산 로에는 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition), 스퍼터링 및 epitaxial 성장과 같은 다양한 유형의 프로세스를 수행 할 수있는 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 청소, 난방 전, 어닐링 및 기타 열 처리에 사용될 수있는 전처리 챔버 (pre-treatment chamber) 와 처리 후 웨이퍼를 실온으로 줄이는 냉각 챔버 (cooling chamber) 가 포함됩니다. 또한 균일 성을 제어하기위한 온도 센서가있는 웨이퍼 프로브 (wafer probe) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z 는 열 제한 스위치 (thermal limit switch) 와 가스 차단 밸브 (gas shutoff valve) 를 장착하여 온도가 세트 수준을 초과하면 손상을 방지하기 때문에 높은 수준의 안전성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 방사선 및 불꽃 보호 기능도 있습니다. 이 용광로 는 또한 온도 "센서 '를 이용 하여 균일성 의" 챔버' 온도 와 기압 의 "게이지 '를 감시 하여" 가스' 압력 을 조절 하기 때문 에 정확도 가 높게 만들어졌다. 이 시스템에는 프로세스 매개변수를 모니터링하기 위한 통합 장치 제어 센터 (unit control center) 소프트웨어가 있습니다. 알파 8S-Z (Alpha 8S-Z) 는 첨단 확산 및 산화 (oxidation) 방식의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수 있는 기계로, 직관적인 소프트웨어와 다양한 안전 기능을 갖춘 사용자 친화적입니다. 다양한 어플리케이션을 통해 고품질을 생산할 수 있는 최적의 선택입니다 (영문).