판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281895

텔/도쿄 전자 알파 8S-Z (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z) 는 광범위한 반도체 장치 제작 프로세스에서 안정적이고 오래 지속되는 서비스를 제공하기 위해 설계된 확산 로이자 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 사용자 친화적인 8 "LCD 터치 패널 디스플레이를 통해 매우 효율적이고 프로그래밍이 간편한 소형 장비입니다. 8S-Z 모델에는 펄스 클린 (pulse clean) 및 단일 웨이퍼 (single-wafer) 기능과 다양한 난방 제어 프로세스에 대한 매우 정확한 온도 조절 메커니즘이 있습니다. TEL ALPHA 8SZ (TEL ALPHA 8SZ) 는 독보적인 프로세서와 강력한 질량 흐름 컨트롤러를 제공하여 가스 유량을 정확하게 제어하여 뛰어난 반복성과 제품 품질을 제공합니다. 이 모델에는 클린 레시피 (Clean Recipe) 를 설정하고 다른 시스템과의 효율적인 통신을 유지하기 위한 다양한 외부 입력/출력 신호가 장착되어 있습니다. 또한 실시간 데이터 로깅이 가능한 자동 모니터링 장치 (Automatic Monitoring Unit) 를 통해 빠르고 정확한 시스템 진단을 통해 문제를 신속하게 해결하고 다운타임을 줄일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 또한 CFC 프리 스테인리스 스틸, 내구성을 높이고 깨끗한 작업 환경을 보장하는 이중 뚜껑을 제공합니다. 공기 누출을 줄여 고온 균일성 (high tempority) 과 제품 품질을 구현하기 위해 최적의 여유 (airtightness) 를 유지합니다. 유지 보수 (low-maintenance) 설계 및 건설을 통해 비용 효율성이 높은 반면, 고급 환경 보호 조치를 통해 SEMI S2 및 기타 안전 표준을 준수할 수 있습니다. 이 확산 용광로 및 액세서리에는 진공 펌프 (vacuum pump) 와 질소 퍼지 (nitrogen purge) 가 장착되어 비활성 산소 없는 환경을 보장합니다. 고품질 후드 재료는 특히 산화를 방지하기 위해 설계되었으며, 많은 규정 준수 체계의 요구를 충족시킵니다. 8S-Z는 또한 웨이퍼와 카세트를 적재 및 언로드하기위한 수냉식 지그 (jig) 를 제공하여 반도체 부품의 짧은 적재 시간과 정확한 온도 조절을 가능하게합니다. 또한 ALPHA 8 S Z (ALPHA 8 S Z) 는 부품 유지 보수 기간 및 고성능 설계를 통해 높은 사용 주기의 안정성과 내결성을 제공합니다. 이 제품은 소음 수준이 낮고 에너지 절약 (energy-saving) 작업을 통해 24/7을 실행하여 자원 및 환경에 미치는 영향을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 고급 선형 방열 기능은 뛰어난 반복성으로 넓은 측정 범위에 비해 우수한 온도 제어를 유지합니다. 이 확산 용광로 및 액세서리는 수많은 제작 공정에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다.