판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9239924
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ID: 9239924
빈티지: 2000
Furnace
Polyimide cure
Quartz heater, P/N: 2187-323602-1C
PSU and UPS
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 반도체 회로 생산에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 어닐링, 산화, 에칭 및 고온이 필요한 다른 프로세스를 위해 설계되었습니다. TEL ALPHA 8SZ (TEL ALPHA 8SZ) 는 용광로 내부의 대기를 제어하기 위한 내장형 장비를 갖춘 최상위 (top-loading) 설계로, 다양한 어플리케이션에서 사용하기에 적합합니다. 또한, 이중 버너, 오존 파괴 시스템, 보호 된 진공 밸브 등 고급 안전 기능으로 인해 확산 로는 매우 신뢰할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 직경 300mm의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 고온 지대 (HTZ) 와 저온 지대 (LTZ) 의 두 가지 수준의 히터가 제공됩니다. HTZ의 최대 온도는 1700 ° C이며, 전체 웨이퍼의 평균 균일 도는 ± 1 ° C입니다. LTZ는 프로세스 개발에 사용되며 최대 온도는 800 ° C입니다. HTZ 및 LTZ의 온도 조절 정확도는 0.1 ° C입니다. Alpha 8S-Z에는 고급 PID (비례 적분 파생) 컨트롤러가 장착되어 있어 온도 제어가 매우 정확합니다. 완전히 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 지능형 사용자 인터페이스 (Intelligent User Interface) 와 시각적 경고 (Visual Alarm) 를 사용하여 사용자에게 프로세스에 대한 정보를 유지합니다. 또한, 퍼니스는 원격 모니터링 장치 (remote monitoring unit) 를 통해 원격으로 작동할 수 있으며, 여러 배치 프로세스에 사용됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z에는 통합 단일 테이블 벨트 내부 전송 기계도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 용광로 안팎으로 기판을 빠르고 효율적으로 전송할 수 있습니다. 이 도구는 이동하는 클램프 플레이트 설계를 사용하여 최적의 로드 및 언로드를 수행합니다. 이를 통해 기판이 로드, 냉각 및 어닐링 프로세스 사이에 안전하게 운송됩니다. TEL ALPHA 8 S Z 확산 로는 고급 드라이 진공 펌프 기술을 사용하여 높은 공정 반복성과 우수한 공정 품질을 제공합니다. 용광로에는 LTZ 및 HTZ 섹션을위한 별도의 드라이 진공 펌프가 장착되어 있으며, 진공 상태를 더 잘 제어합니다. 또한, TEL ALPHA 8 S-Z는 고급 오존 파괴 기술을 사용하여 공정 대기의 오존 양을 줄입니다. 이 기술은 세라믹 오존 파괴 촉매 (ceramic ozone destruction catalysts) 를 기반으로하며 가공 된 웨이퍼에서 오존 오염의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ는 안정적이고 사용하기 쉬운 고급 확산 로입니다. 고온과 저온에서 다양한 프로세스에 최적화되었으며, 건식 진공 펌프 (dry vacuum pump), 오존 파괴 기술 (ozone destruction technology), 내부 전송 자산 (internal transfer asset) 과 같은 기능을 갖추고 있어 사용자 편리성과 프로세스 품질 향상을 보장합니다.
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