판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811678
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z) 는 반도체 업계에서 가장 성능이 뛰어난 확산 로로 중 하나이며, 반도체 장치 제작 분야의 중요한 발전을위한 플랫폼을 제공합니다. TEL ALPHA 8SZ는 커스터마이징 가능한 챔버 설계, 고급 프로세스 제어 기능, 탁월한 프로세스 균일성을 통해 중요한 반도체 장치 생산 및 연구 응용프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 증착실 (deposition chamber) 은 향상된 균일성을 제공하는 혁신적인 설계를 특징으로하며, 8S-Z는 가변 압력 제어 (variable pressure control) 를 제공하여 프로세스 매개변수의 제어를 강화합니다. 이렇게 하면 값비싼 "마스크 '를 변경 하지 않고도 증착 을 통하여" 필름' 특성 을 최적화 할 수 있다. 또한, 확산 퍼니스는 포괄적인 프로세스 데이터 수집 (process data collection) 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스 데이터를 실시간으로 추적, 모니터링, 분석하여 최상의 품질의 결과를 일관되게 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z에는 가스 유속을 정확하게 제어 할 수있는 저류 가스 관리 시스템이 포함되어 있습니다. 이것은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 임계 장치 생산 응용 프로그램에 이상적인 플러스 (+) 또는 마이너스 (-) 5 ° C의 좁은 범위 내에서 챔버 온도를 유지하는 고급 냉각 시스템을 제공합니다. TEL ALPHA 8 S Z는 또한 Locus Ops PC/PLC 인터페이스와 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 사용자가 정확한 프로세스 제어를 실행할 수 있도록 합니다. 이렇게 하면 폐기물을 줄이고, 효율성을 높이고, 품질을 최적화할 수 있습니다. 또한, 8S-Z에는 중요한 장치 생산 프로세스에 이상적인 반복 처리 및 동적 필름 두께 프로파일 (dynamic film thickness profile) 측정을위한 고급 웨이퍼 전송 시스템이 포함되어 있습니다. 결과적으로, ALPHA 8 S-Z는 반도체 장치 제작 프로세스에서 최고의 품질과 수율을 달성하려는 사람들에게 완벽한 선택입니다. 알파 8S-Z (Alpha 8S-Z) 는 사용자 친화적인 인터페이스, 사용자 정의 가능한 챔버 설계, 고급 프로세스 제어 기능, 탁월한 프로세스 균일성을 갖춘 제품으로, 프로덕션 및 리서치 애플리케이션에 종사하는 고객에게 이상적인 솔루션입니다.
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