판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293806493

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z) 는 수평 분할 이중 챔버를 갖춘 확산 로로, 반도체 장치 제조와 같은 고급 박막 응용용으로 설계되었습니다. 확산 로에는 박막 증착 공정에 적합한 ± 1 ° C 내에서 온도를 제어하기 위해 언더 컷 (undercut) 및 라운드 에지 (round-edge) 재 설계가 추가로 장착되어 있습니다. 텔 알파 8SZ (TEL ALPHA 8SZ) 에는 최적화된 공기 순환 장비가 장착되어 있어 챔버 전체에서 온도가 균등하고 안정적으로 유지됩니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z 퍼니스에는 트윈 로드 에어 클러치 시스템 (Twin Rod Air Clutch System) 이 장착되어 웨이퍼의 적재 및 언로드 및 대용량 샘플 카세트의 균일성을 보장합니다. 최대 52 웨이퍼. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ용 표준 액세서리는 리모콘 모니터, CCD 이미지 프로세서 및 배기 가스 모니터입니다. CCD 이미지 프로세서 (CCD Image Processor) 를 사용하여 온도를 정확하게 모니터링할 수 있으므로, 모니터를 사용하여 용광로 작동을 향상시킬 수 있습니다. 반면, 배기 가스 모니터는 유속, 농도, 총 배기 가스 양을 측정하는 데 사용될 수있다. TEL Alpha 8S-Z (TEL Alpha 8S-Z) 에는 원격 모니터링 장치 (원격 모니터링 장치) 가 내장되어 있어 사용자가 원격지에서 떨어져 있을 때에도 용광로가 항상 실행되고 있는지 확인합니다. 또한, 안전성을 보장하기 위해 Alpha 8S-Z에는 이오나이저, 배기 필터 및 플러시 배기 기계가 장착되어 있습니다. "이오나이저 '는 먼지 입자 를 제거 하고, 배기" 필터' 는 배기 "파이프 '에 오염 물질 이 쌓이는 것 을 방지 한다. 마지막으로, 플러시 배기 도구 (flush exhaust tool) 는 용광로에 가연성 가스가 축적되는 것을 방지하여 폭발을 일으킬 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, ALPHA 8 S-Z에는 안전 잠금 (Safety Lock) 자산이 포함되어 있어 사용자의 안전을 보장합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z는 수평 분할 이중 챔버, 최적화 된 공기 순환 모델, 트윈 로드 에어 클러치 장비, 내장 원격 모니터링 시스템 및 다양한 액세서리를 갖춘 고급 박막 증착 로이며, 사용자에게 탁월한 성능 및 안전.