판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794329

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 볼륨 장치 생산에 사용하도록 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. 모듈식 디자인이 특징이며 볼륨 생산률이 높습니다. 이 시스템에는 8 개의 비커 보트가 있으며, 이 보트를 사용하면 실제 수직으로 웨이퍼를 들어 올릴 수 있으므로 프로세스 균일성이 향상되어 더 작은 지역에서 처리량이 증가합니다. 이 모델은 증착, 확산, 산화, 질화물, 임플란트 및 임플란트 anneals와 같은 응용 분야에 이상적입니다. TEL ALPHA-8S는 TEL GEMINI 제어 머신으로 구동되는 고성능 자동 제어 장치를 제공합니다. 프로세스 시간, 수율 및 균일성을 효율적으로 최적화하는 8 단계, 멀티 스텝 레시피 입력이 특징입니다. TOKYO ELECTRON GEMINI 제어 도구는 또한 개별 챔버 모니터링 자산을 특징으로하여 온도, 압력, 속도 및 기타 변수에 대한 정확하고 실시간 제어를 지원합니다. 자동 제어 모델은 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 또한 전기 특성, 플라즈마 표면 스타일, 스트라이프 매핑 등 다양한 현장 모니터링 및 측정 기술을 제공합니다. 이러한 기술을 통해 사용자는 프로세스 매개 변수를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며, 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 8S (TOKYO ELECTRON Alpha 8S) 는 효율적인 대피 및 소진, 가스 및 진공 시스템이 완전히 통합되고 자동화되는 진공 장비를 사용합니다. TEL ALPHA-8 S는 로드 잠금, 로봇, 소프트웨어 솔루션 등 풍부한 주변 장치 옵션을 제공하여 프로세스 제어 및 모니터링을 더욱 최적화합니다. 로드 잠금 장치 (Load Lock) 는 확산 로로 (Diffusion Furnace) 로의 원활한 이동을 위한 제어 환경을 제공하는 반면, 로봇 공학은 빠르고 안전한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 및 데이터 획득 소프트웨어가 장착되어 있어 사용자 효율성을 극대화하고 사용자 오류를 최소화할 수 있습니다. 또한 ALPHA 8 S는 웨이퍼를 빠르게 냉각시켜 웨이퍼 손상을 방지하기 위해 고급 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 냉각 장치는 프로세스의 특정 요구를 충족하도록 조정할 수 있습니다. 또한 ALPHA-8S (Alpha-8S) 는 데이터의 로드, 언로드 및 해석을 완벽하게 자동화하여 품질 제품 생산성을 보장합니다. 마지막으로, 알파 8S (Alpha 8S) 에는 챔버 (chamber) 와 고온 석영 (quartz seal) 이 모두 제공되며, 챔버 환경, 제품 품질 및 공정 반복 가능성을 개선하도록 설계되었습니다.