판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293765255

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 다양한 금속, 반도체 및 세라믹 필름의 증착에 사용될 수있는 고정밀 확산 로와 액세서리입니다. 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에 적합한 선택입니다. TEL ALPHA 8SZ는 최대 1200 ° C의 작동 온도를 가진 단일 웨이퍼 열 처리 장비입니다. 또한 단 31 초의 초고속 난방/냉각 주기 시간이 있습니다. 이것은 열 산화 및 침착과 같은 공정에 대한 빠른 반응 시간을 가능하게합니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 표면에서 고도의 증착 균일성을 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 변위 유형 수평 증착을 허용하는 샤워 판 기술을 사용합니다. 이렇게 하면 "필름 '의 균일성 을 매우 정확 하게 제어 할 수 있다. 또한, 이 장치에는 필름 특성을 빠르고 정확하게 튜닝 할 수있는 독특한 프로그래밍 된 필름 제어 (film control) 기능이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 약실의 효율적인 대피 및 백 필링을 가능하게하는 낮은 누출 차동 압력 설계를 특징으로합니다. 이 기계는 또한 원격 연동 도구 (remote interlock tool) 와 뛰어난 신뢰성 및 성능을 위한 주변 압력 제어 (pressure control) 자산을 갖추고 있습니다. 또한, "시간 공간" 스로틀 밸브가 포함되어 있어 프로세스 균일성을 향상시키기 위해 정확한 가스 흐름 제어를 보장합니다. ALPHA 8 S-Z에는 데이터 수집 및 제어가 용이한 고성능 IO-Link 소프트웨어 모델이 장착되어 있습니다. 또한 유리 판, 쿼츠 보트, 캐리어 (carrier) 등 다양한 액세서리를 포함하여 모든 프로세스에 원하는 정확한 매개 변수를 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z는 다양한 열 처리 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 뛰어난 정확도와 신뢰성 (안정성) 을 통해 생산 시간을 최적화하는 동시에 높은 수준의 품질 (Quality Control) 을 제공할 수 있습니다. 이 장비는 운영자가 필름 특성을 정확하게 제어하고 프로세스 균일성 (unifority) 과 처리량을 향상시킬 수 있도록 합니다.