판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759915

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 최적의 효율성과 신뢰성을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 자동 "가스 '흐름 조절 장비 를 갖춘 이" 가스' 는 확산 과정 에서 전체 "웨이퍼 '표면 에 균일 한 온도 분배 를 한다. 또한 특수 고급 차폐 시스템 (advanced shielding system) 을 사용하여 아웃가스가 발생하지 않도록 방지하고 웨이퍼를 오염시킵니다. TEL ALPHA 8SZ는 쉽고 안정적인 작동을 위해 다양한 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 크고 사각형 모양의 챔버를 가지고 있으며 2 단계 프로세스를 사용하여 고속 온도 증가와 냉각 속도를 제공합니다. 약실 에는 "가스 '의 균일 한 분포 를 보장 하는 고급" 가스' 흐름 조절 장치 가 장착 되어 있어, "가스 '가 발병 하는 것 을 방지 하고" 웨이퍼' 를 오염 으로부터 보호 해 준다. 또한, 용광로의 온도 설정은 섭씨 0 ~ 1000도까지 다양합니다. 또한 전체 웨이퍼 표면에서 최적의 열 분배를 달성하기 위해 높은 정밀도 온도 조절 머신 (temperate control machine) 이 장착되어 있습니다. 확산 로에는 온도 조절 도구, 여러 가스 소스, 온도 기록 장치, 냉각 자산, 안전 (safety) 기능, 기타 여러 가지 기능 등 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 또한 "가스 '분포" 모델' 과 고급 냉각기구 와 더불어 온도 가 "챔버 '전체 에 균등 하게 분포 되도록 한다. 방은 또한 공수 (airborne) 되고 웨이퍼 (wafer) 로 들어가기 전에 확산 과정의 부산물을 청소하기위한 고급 스크러버를 가지고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 정밀 확산 프로세스를위한 강력한 도구입니다. 그것 은 전체 "웨이퍼 '표면 에 대한 안정성 있고 균일 한 온도 를 제공 할 뿐 아니라," 챔버' 를 가열 하여 식히는 속도 도 높다. 용광로 가 번들 된 "액세서리 '는 또한 장비 를 쉽고 효율적 으로 작동 할 수 있게 해 준다. 기능의 조합으로 인해 ALPHA 8 S-Z는 다양한 도전적인 확산 프로세스에 이상적인 도구가되었습니다.