판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 고도의 집적 회로 (IC) 를 제조하는 데 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. TEL ALPHA 8SZ는 통합된 상부 로딩 로봇으로, 빠르고 정확한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 설계되었습니다. 이 효율적인 도구는 처리량을 높이고 오염과 중단 가능성을 줄입니다. 도쿄 전자 알파 8 S-Z (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z) 는 온도 균일성 향상을 위해 하위 및 상단 난방로가 장착되어 향후 IC 개발에 유연한 용량을 제공합니다. 확산 광로 자체는 정밀 히터, 에너지 재생 장비 (Energy Regenerating Equipment, ERS) 및 차동 열 흐름 제어를 포함한 고급 기술로 제작되었습니다. ERS 시스템은 전력 소비를 줄이고 에너지 효율성을 높이기 위해 설계된 반면, 차등 열 흐름 제어 장치 (Differential Thermal Flow Control Unit) 는 웨이퍼를 더욱 가열하고 냉각시켜 비균일성을 낮추고 처리량을 증가시킵니다. 또한 ALPHA 8 S-Z는 멀티 가스 분사 기능을 제공하여 다양한 가스를 통합 할 수 있습니다. 이러 한 "가스 '는 광범위 한 온도 에 주입 될 수 있으며, 여러" 포인트' 로부터 유입 되어 확산 과정 의 균일성 을 향상 시킬 수 있다. 또한 균일 한 가스-흐름 머신 (gas-flow machine) 에 의해 온도 균일성이 향상되었으며, 이는 가스가 플래핑 또는 난기없이 균등하게 전달되도록 보장합니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z에는 기계 및 공압 처리를 결합한 350mm 웨이퍼 처리 도구가 있습니다. 기계 및 공압 처리 에셋은 웨이퍼 로딩/언로딩으로 인한 진동을 최소화하므로, 기판 전송 단계에서 다른 방법으로 발생할 수있는 왜곡을 줄입니다. 처리 모델의 또 다른 이점은 최적의 재료 출력 처리를 허용한다는 것입니다. 요컨대, ALPHA 8SZ는 높은 처리량 IC 제조에서 최고 수준의 효율성을 위해 뛰어난 성능, 정확한 온도 수준, 개선 된 가스 분사를 제공하는 확산 로와 액세서리입니다. 도쿄 전자 알파 8S-Z (TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z) 의 우수한 온도 균일성, 개선 된 가스 분사 및 고급 모션 제어는 반도체 장치 제조업체가 가장 진보 된 집적 회로를 생산하려는 이상적인 도구가됩니다.