판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 웨이퍼를 처리하기위한 목적으로 제작 된 확산 로입니다. 탁월한 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 및 균일성 (Unifority) 을 보장하면서 절전에 미치는 영향이 낮아 최고 수준의 생산성을 달성하도록 설계되었습니다. 8S-Z는 산화물-옥사이드 필름, 얇은 산화물 필름, 폴리 실리콘 에칭, 질화물 처리 및 기타 관련 물질의 정화 과정에 강력한 열 공급원과 최적의 대기를 제공합니다. 이 기계에는 길이 1.8 미터, 폭 0.3 미터의 쿼츠 파이프가 장착되어 있으며, 8S-Z의 핫 존이 장착되어 있습니다. 이 뜨거운 지대의 격리 벽은 섭씨 1250 도의 온도 범위를 제공합니다. 이 기계에는 TEL-ATOS (TEL-ATOS) 가 장착되어 있는데, 이 소프트웨어는 핫 존 (Hot Zone) 내의 온도와 쿼츠 파이프 하단의 온도를 제어하는 독점 소프트웨어입니다. 이것은 균일 하고 반복 가능한 확산 과정을 보장합니다. 기기에는 또한 3 개의 독립적 인 히터가 장착되어 있으며, 이는 자체 교정입니다. 더 큰 표면적에서 핫 존 (hot zone) 의 온도를 효과적으로 제어하고 확산 과정의 균일성을 보장 할 수있다. 이 기계는 또한 개선 된 자동 오프셋 메커니즘 (auto-offset mechanism) 으로 설계되어 더 많은 시간이 프로세스에 집중할 수 있도록 하면서 오프셋 시간을 줄였습니다. C 형 구조는 증가 된 압력 능력에서 wi 개선 된 균일성, 향상된 액세스, 빠르고 정확한 박막 프로세스를 가능하게합니다. 또한 8S-Z 에는 AMS (Automation and Monitoring Equipment) 가 통합되어 있어 동일한 제어 시스템을 통해 여러 시스템을 효율적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 확산 프로세스의 효율성과 처리량을 극대화할 수 있습니다. 이 단위는 프로세스 상태에 대한 알람 기반 보고를 허용합니다. 기계는 또한 비정상적인 조건을 감지하고 연산자에게 경고를 보낼 수 있습니다. 또한 8S-Z 는 예방/유지 보수/데이터 로깅 기능을 갖추고 있어 다운타임을 줄이고 프로세스 제어를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이것 은 기계 를 쉽게 유지 할 수 있게 해 주며, 잠재적 인 문제 들 을 정확 히 감시 하고, 감지 할 수 있다. 8S-Z는 또한 열 절연을 개선하기위한 이중 벽 프레임을 특징으로합니다. 이를 통해 전력 소모는 줄이고, 강체 지원과 안전한 작동은 보장됩니다. 이 기능은 또한 소음 및 진동 수준을 줄여 기계 (machine) 를 사용하는 것이 더 편리합니다. 전반적으로 TEL ALPHA 8SZ는 모든 유형의 웨이퍼 처리 작업을 효과적으로 처리 할 수있는 최첨단 확산 로입니다. 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 과 다양한 기능을 통해 최적의 프로세스 제어 및 균일성을 제공합니다.
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