판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704451
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z) 는 확산 프로세스의 온도를 정확하게 제어하여 반도체를 안전하고 정확하게 제조하도록 설계된 확산 로이자 액세서리입니다. 이 장비는 반도체 처리, 박막 증착 및 어닐링 응용 분야에 이상적입니다. 열적으로 분리 된 공정 관 (process tube), 인터페이스 제어 장치 (interface control unit) 및 통합 고급 광학 온도 측정 장비가 있습니다. 인터페이스 제어 장치 (Interface Control Unit) 에는 다양한 프로세스에 대한 4 개의 독립적으로 프로그래밍 가능한 프로그램이 있으며 용광로 상태를 모니터링합니다. 내장형 광학 온도 측정 시스템 (Advanced Optical Temperation Measurement System) 은 공정 튜브의 온도를 높은 수준의 정확도로 측정 할 수 있으며, 판독 값에 따라 퍼니스의 온도를 조정하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. TEL ALPHA 8SZ는 최대 1350 ° C에서 작동 할 수 있으며, 2 단계 석영 튜브를 사용하며, 알루미나 절연 플레이트가 장착되어 있습니다. 이 열 유지판 (heat retention plate) 은 샘플 웨이퍼 사이에서 열을 유지하고 튜브를 과열하지 않도록 유지 (over-heating) 한 다음 바람직하지 않은 상황을 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z 장치에는 다중 영역 기능, 최대 6 개의 제어 영역 및 최대 14 개의 웨이퍼 소스가 있습니다. 수동 잠금 기능 (Manual Lockout Feature) 을 갖도록 설계되어 비상시 프로세스 챔버 (Process Chamber) 에 액세스할 수 없습니다. 또한 폐쇄 루프 제어기, 온도 램프 업 타이머, 전원 장애 방지 (Power Failure Protection) 와 같은 고급 기능도 있습니다. 닫힌 루프 제어 도구 (closed-loop control tool) 는 용광로 컨트롤러와 함께 작동하며 레시피의 프로그래밍 된 프로파일에 따라 온도를 조절하는 데 도움이됩니다. 온도 램프 업 타이머 (temperature ramp-up timer) 를 사용하면 프로세스가 진행될 최대 온도 설정을 설정할 수 있습니다. 마지막으로, 전원 장애 보호 (power failure protection) 는 전원 중단 시 용광로가 계속 작동하는지 확인하는 데 도움이 됩니다. Alpha 8S-Z는 작동하기 쉬운 자산이며 읽기 쉬운 디스플레이가 있습니다. 또한 각 프로세스를 쉽게 제어할 수 있는 직관적인 제어 모델이 장착되어 있습니다. 제어 응용 프로그램 (Control Application) 을 사용하면 다양한 제어 수준을 설정할 수 있으며 프로세스 단계별로 모니터링할 수 있습니다. 장비는 또한 신뢰성이 뛰어나며, 시스템을 손상으로부터 보호하기 위한 다양한 안전 기능 (Safety Function) 을 갖추고 있습니다.
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