판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584
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ID: 293642584
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 반도체 연구 및 생산에 사용하도록 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 최대 1000 ° C의 고온이 가능하며, 기판을 증기 증착 (vapor deposition) 과 같은 고급 프로세스에 사용할 수 있습니다. 8S-Z (Advanced Reaction Chamber) 설계를 포함하여 최적의 가스 흐름 및 온도 균일성을 제공합니다. 8S-Z는 집적 회로 생산, 마이크로 제작, MEMS 등과 같은 다양한 분야에서 고급 연구에 적합합니다. 빠른 어닐링 및 저온 도핑에서 탁월한 성능을 제공합니다. 8S-Z (8S-Z) 는 반응 챔버 압력의 5 단계 제어를 특징으로하여 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 가능하게한다. 이 도어에는 상단로드 도어 (top-loading door) 가 있어 기판을 본실로 직접 로드할 수 있습니다. TEL ALPHA 8SZ는 사용자가 필요에 따라 사용할 수있는 종합적인 액세서리 세트를 제공합니다. 여기에는 Transfer Loader, Shuttles and Baskets 및 특수 팬 및 냉기 장비를 갖춘 Cooler Quench 어셈블리가 포함됩니다. 이렇게 하면 가공하는 동안 용광로를 냉각시키고, 시스템, 기판, 사용자 장비를 손상시키는 것을 방지할 수 있습니다. 8S-Z는 또한 레벨 II 컴퓨터 제어 장치 (CCS) 를 제공합니다. 이 기계를 사용하면 용광로 매개변수를 매우 정확하게 모니터링하고 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 비정상적인 조건이 감지되면 용광로를 자동으로 차단하는 안전 기능 (Safety Features) 도 포함됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z는 뛰어난 온도 조절 및 균일성, 안정적인 안전 기능을 갖춘 중거리 확산 로입니다. 반도체 생산, 마이크로 제작 및 기타 분야에서 첨단 연구 (Advanced Research) 에 적합한 다양한 액세서리가 있습니다.
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